[发明专利]传动机构的表面镀膜方法

权利要求书

1.一种传动机构的表面镀膜方法，其特征在于，包括以下步骤：

(a)提供一传动机构；

(b)清洁该传动机构的表面；

(c)将该传动机构设置于一工作环境中，导入一氢气与一四甲基硅烷(Tetra-methylsilane；TMS；Si(CH₃)₄)气体至该工作环境中，施加一外加电力而在该工作环境中产生一偏压电场，将该偏压电场的一偏压值控制在400～700伏特(V)，并将该外加电力的功率控制在800～1500瓦(W)，借以在该传动机构的表面形成一附着膜；

(d)导入该氢气、该TMS气体与一烃类(hydrocarbon)气体至该工作环境中，将该偏压值控制在400～700V，并将该外加电力的功率控制在800～1500W，借以在该附着膜的表面形成一混合膜，使该混合膜含有一非晶质类钻石材料与该附着膜所含的成分，且在该混合膜中，越远离该传动机构处，该非晶质类钻石材料的含量越高；以及

(e)导入该氢气、该TMS气体与该烃类气体至该工作环境中，将该偏压值控制在400～700V，并将该外加电力的功率控制在800～1500W，借以在该混合膜的表面形成一非晶质类钻石膜，进而制成一镀膜传动机构。

2.根据权利要求1所述的传动机构的表面镀膜方法，其特征在于，该步骤(b)更包含以下步骤：

(b1)将该传动机构设置于该工作环境中；

(b2)提供该外加电力而在该工作环境中产生该偏压电场；

(b3)将至少一氩气与上述的氢气导入该工作环境；以及

(b4)利用该偏压电场将该氩气与氢气解离为一电浆状物质，以清洁该传动机构的表面。

3.根据权利要求2所述的传动机构的表面镀膜方法，其特征在于，在该步骤(b)中，包含一历时10～25分钟的第一清洗阶段，且在该第一清洗阶段将该工作环境的压力控制在4～15μbar，该偏压电场的该偏压值控制在300～700V，该外加电力的功率控制在600～1400W。

4.根据权利要求3所述的传动机构的表面镀膜方法，其特征在于，在该第一清洗阶段，该氩气的流量为50～200标准立方公分/分钟(standard cc/min；sccm)，该氢气的流量为50～200sccm，且该气体被解离后所形成的电浆状物质为电浆状的氩离子与氢离子。

5.根据权利要求2所述的传动机构的表面镀膜方法，其特征在于，在该步骤(b)中，包含一历时10～30分钟的第二清洗阶段，且在该第二清洗阶段将该工作环境的压力控制在2～15μbar，该偏压电场的该偏压值控制在500～700V，该外加电力的功率控制在1200～1400W。

6.根据权利要求5所述的传动机构的表面镀膜方法，其特征在于，在该第二清洗阶段，该氩气的流量为200～400sccm，该氢气的流量为50～400sccm，且该气体被解离后所形成的电浆状物质为电浆状的氩离子与氢离子。

7.根据权利要求1所述的传动机构的表面镀膜方法，其特征在于，该外加电力由一可调式电源供应器所提供。

8.根据权利要求1所述的传动机构的表面镀膜方法，其特征在于，在进行该步骤(c)时，历时1～10分钟，该氢气的流率控制在50～100sccm，且该TMS气体的流率控制在50～250sccm。

9.根据权利要求1所述的传动机构的表面镀膜方法，其特征在于，在进行该步骤(c)时，将该工作环境的压力控制在2～4μbar。

10.根据权利要求1所述的传动机构的表面镀膜方法，其特征在于，在进行该步骤(d)时，历时1～10分钟，该氢气的流率控制在50～800sccm，该TMS控制在50～250sccm，该烃类气体为一乙炔(acetylene)气体，且该乙炔气体的流量控制在50～800sccm。

11.根据权利要求1所述的传动机构的表面镀膜方法，其特征在于，在进行该步骤(d)时，将该工作环境的压力控制在4～15μbar。