[发明专利]基板载置台以及基板处理装置

摘要

本发明提供一种升降销难以损伤载置台本体的基板载置台。基板载置台具备：载置台本体和升降销(30)，其中，该升降销(30)铅直插通上述载置台本体，以相对于上述载置台本体的表面突出、隐没的方式自由升降地设置，其前端支撑基板并使上述基板升降，升降销(30)具有上部件(30b)和下部件(30a)，具有在它们的边界部(38)的周围设置辅助部件(39)而构成的折断部(35)，当升降销(30)位于支撑位置时，折断部(35)位于载置台本体(4a)的表面位置或者与此相比上方位置，形成折断部(35)，使得当向升降销(30)施加横向力时，该折断部(35)在比升降销(30)变形的力小的力的作用下折断。

主权项

1.一种基板载置台，其在基板处理装置中载置基板，其特征在于，包括：载置台本体；和升降销，所述升降销铅直插通所述载置台本体，以相对于所述载置台本体的表面突出、隐没的方式自由升降地设置，其前端支撑基板并使所述基板升降，其中，所述升降销具有上部件和下部件，具有在它们的边界部的周围设置辅助部件而构成的折断部，能够取得隐没到所述载置台本体内的退避位置、和从所述载置台本体突出并支撑基板的支撑位置，当所述升降销位于所述支撑位置时，所述折断部位于所述载置台本体的表面位置或者与此相比的上方位置，形成所述折断部，使得当向所述升降销施加横向力时，所述折断部在比所述升降销变形的力小的力的作用下折断。