[发明专利]制备组合材料芯片的方法及所使用的电磁喷射系统无效
| 申请号： | 200810042322.7 | 申请日： | 2008-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN101342525A | 公开（公告）日： | 2009-01-14 |
| 发明（设计）人： | 李永祥;王卓;王东 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | B05D1/02 | 分类号： | B05D1/02;B05D7/24;B05C5/02;B05C11/10;B05B13/04;B05B12/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200050上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种制备组合材料芯片的方法及所使用的系统，其特征在于可溶物溶液或难溶物悬浮液预先在溶液管路中混合均匀，然后用外界气体驱动的电磁式喷射系统，将混合均匀的可溶物溶液或难溶物悬浮液喷射到基板上，通过热处理制备成组合材料芯片。所使用的电磁喷射系统由管路系统和定位系统构成。在电磁泵的驱动下充分混合后于混合池中获得不同组成的样品，由电磁喷头喷出；电磁喷头固定于喷头升降架上，喷头相对于基板的高度由喷头升降架调节；基板固定于二维X－Y电动平台上，二维电动平台水平放置，喷头升降架和二维电动平台固定在同一工作平台，单片机通过电动平台的控制器驱动二维电动平台，通过电磁阀的控制驱动器控制电磁阀的开闭。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 组合 材料 芯片 方法 使用 电磁 喷射 系统 | ||
【主权项】：
1、一种制备组合材料芯片的方法，其特征在于可溶物溶液或难溶物悬浮液预先在溶液管路中混合均匀，然后用外界气体驱动的电磁式喷射系统，将混合均匀的可溶物溶液或难溶物悬浮液喷射到基板上，通过热处理制备成组合材料芯片。
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