[发明专利]微开关器件及其制造方法

摘要

一种微开关器件及其制造方法，所述微开关器件包括：固定部；可移动部；第一电极，具有第一触点和第二触点；第二电极，具有与第一触点相接触的第三触点；以及第三电极，具有与第二触点相对的第四触点。在制造微开关器件的过程中，在衬底上形成第一电极，再在衬底上形成牺牲层以覆盖第一电极。然后，在牺牲层中对应于第一电极的位置形成第一凹部和较浅的第二凹部。形成第二电极，第二电极具有经由牺牲层与第一电极相对的部分并且填充第一凹部。形成第三电极，第三电极具有经由牺牲层与第一电极相对的部分并且填充第二凹部。然后去除牺牲层。

主权项

1.一种微开关器件，包括：固定部；可移动部，包括第一表面以及与所述第一表面相对的第二表面，所述可移动部包括固定到所述固定部的固接端；可移动接触电极，设置在所述可移动部的第一表面上，并且包括第一接触部和第二接触部；第一固接接触电极，包括与所述可移动接触电极的第一接触部相接触的第三接触部，所述第一固接接触电极接合到所述固定部；第二固接接触电极，包括与所述可移动接触电极的第二接触部相面对的第四接触部，所述第二固接接触电极接合到所述固定部；以及驱动机构，用于移动所述可移动部，使所述第二接触部与所述第四接触部相接触。