[发明专利]微开关器件及其制造方法

权利要求书

1.一种微开关器件，包括：

固定部；

可移动部，包括第一表面以及与所述第一表面相对的第二表面，所述可移动部包括固定到所述固定部的固接端；

可移动接触电极，设置在所述可移动部的第一表面上，并且包括第一接触部和第二接触部；

第一固接接触电极，包括与所述可移动接触电极的第一接触部相接触的第三接触部，所述第一固接接触电极接合到所述固定部；

第二固接接触电极，包括与所述可移动接触电极的第二接触部相面对的第四接触部，所述第二固接接触电极接合到所述固定部；以及

驱动机构，用于移动所述可移动部，使所述第二接触部与所述第四接触部相接触。

2.如权利要求1所述的微开关器件，其中，所述可移动接触电极的第一接触部与所述第一固接接触电极的第三接触部相连接。

3.如权利要求1所述的微开关器件，其中，所述可移动接触电极包括第一突出部和第二突出部，所述第一突出部包括所述第一接触部，所述第二突出部包括所述第二接触部，所述第二突出部的突出长度短于所述第一突出部的突出长度。

4.如权利要求1所述的微开关器件，其中，所述第一固接接触电极包括第三突出部，所述第二固接接触电极包括第四突出部，所述第三突出部包括所述第三接触部，所述第四突出部包括所述第四接触部，所述第四突出部的突出长度短于所述第三突出部的突出长度。

5.如权利要求1所述的微开关器件，其中，在所述可移动部的第一表面上，所述可移动接触电极与所述固接端在偏移方向上间隔开，所述第一接触部与所述第二接触部在与所述偏移方向交叉的方向上间隔开，所述驱动机构包括位于所述可移动部的第一表面上的驱动力产生区域，所述驱动力产生区域的重心距离所述可移动接触电极的第二接触部比距离所述第一接触部更近。

6.如权利要求5所述的微开关器件，其中，所述可移动部的固接端与所述可移动接触电极的第一接触部之间的距离不同于所述固接端与所述第二接触部之间的距离。

7.如权利要求5所述的微开关器件，其中，所述可移动部具有弯曲结构。

8.如权利要求5所述的微开关器件，其中，所述驱动力产生区域的重心和所述第二接触部位于虚线的同一侧，所述虚线经过所述固接端的长度中点和所述第一接触部与所述第二接触部之间的中点。

9.如权利要求1所述的微开关器件，其中，所述驱动机构包括可移动驱动电极和固接驱动电极，所述可移动驱动电极设置在所述可移动部的第一表面上，所述固接驱动电极接合到所述固定部并且具有与所述可移动驱动电极相对的部分。

10.如权利要求1所述的微开关器件，其中，所述驱动机构包括由第一电极层、第二电极层以及压电层构成的多层结构，所述第一电极层设置在所述可移动部的第一表面上，所述压电层设置在所述第一电极层与所述第二电极层之间。

11.如权利要求1所述的微开关器件，其中，所述驱动机构包括由多个材料层构成的多层结构，所述多个材料层设置在所述可移动部的第一表面上，所述多个材料层中的各个材料层具有不同的热膨胀系数。