[发明专利]抗反射涂层组合物有效
| 申请号： | 200780047292.2 | 申请日： | 2007-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN101605854A | 公开（公告）日： | 2009-12-16 |
| 发明（设计）人： | D·阿卜杜拉;F·霍利亨;M·尼瑟 | 申请（专利权）人： | AZ电子材料美国公司 |
| 主分类号： | C08L101/00 | 分类号： | C08L101/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 陈 宙 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明披露了新的底部抗反射涂层组合物，其中得自该组合物的涂层具有可由蚀刻板温度调节的蚀刻速率。 | ||
| 搜索关键词： | 反射 涂层 组合 | ||
【主权项】：
1.一种组合物，其包含：a)具有约0℃-约70℃的上限温度的聚合物；b)交联剂；和c)任选地，交联催化剂。
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