[发明专利]有机硅树脂组合物和沟槽隔离的形成方法有效
| 申请号： | 200780034461.9 | 申请日： | 2007-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN101516970A | 公开（公告）日： | 2009-08-26 |
| 发明（设计）人： | 岩沢晴生;酒井达也;松木安生;玉木研太郎 | 申请（专利权）人： | JSR株式会社 |
| 主分类号： | C08G77/12 | 分类号： | C08G77/12;C04B41/81;C09D183/05;H01L21/316;H01L21/76 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 吴 娟;孙秀武 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及有机硅树脂，其特征在于：由下述示性式(1)表示：(H2SiO)n(Si1.5)m(SiO2)k(1)；(式(1)中，n、m和k分别为数，n+m+k＝1时，n为0.05以上，m超过0但为0.95以下，k为0～0.2)，该树脂在120℃下为固态。本发明的有机硅树脂适合在用于形成长宽比较大的沟槽隔离的组合物中使用。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 硅树脂 组合 沟槽 隔离 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.有机硅树脂，其特征在于：该有机硅树脂由下述示性式(1)表示，在120℃下为固态：(H2SiO)n(HSiO1.5)m(SiO2)k (1)式(1)中，n、m和k分别为数，n+m+k＝1时，n为0.05以上，m超过0但为0.95以下，k为0～0.2。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于JSR株式会社，未经JSR株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200780034461.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：改善性能的阻燃性天然纤维填充的热塑性塑料
- 下一篇：新型组合物及其生产方法
