[发明专利]面板结构及其制造方法

摘要

本发明公开了一种面板结构及其制造方法。面板结构设置在一显示装置中。面板结构包括基板、多个第一晶体管及多个第二晶体管。基板具有显示电路及控制电路。这些第一晶体管设置于基板的显示电路。这些第一晶体管各具有第一有源层。这些第二晶体管设置于基板的控制电路。这些第二晶体管各具有第二有源层。第一有源层及第二有源层的至少一者的材料包括氧化锌(ZnO)。本发明利用氧化锌(ZnO)作为控制电路及显示电路的至少一者的晶体管的材料，以使晶体管具有高电子迁移率，且此晶体管的工艺与非晶硅材料的晶体管的工艺相容。

主权项

1. 一种面板结构，设置在一显示装置中，该面板结构包括：基板，具有显示电路及控制电路；多个第一晶体管，设置于该基板的该显示电路，各这些第一晶体管具有第一有源层；以及多个第二晶体管，设置于该基板的该控制电路，各这些第二晶体管具有第二有源层，该第一有源层及该第二有源层的至少一者的材料包括氧化锌。