[发明专利]可移动元件的多向扫描和其离子束监测设备无效
| 申请号： | 200710110708.2 | 申请日： | 2003-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN101131910A | 公开（公告）日： | 2008-02-27 |
| 发明（设计）人： | 西奥多·H·斯米奇克;逆濑卓郎;弗兰克·D·罗伯茨;杰弗里·吕丁;马文·法利;阿德里安·默雷尔;彼得·爱德华兹;伯纳德·哈里森 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01L21/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 赵飞 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开一种半导体处理装置，该装置提供衬底或晶片夹持器(180)的扫描臂(60)在至少两个通常正交方向(所谓X－Y扫描)上运动。在第一方向上的扫描是纵向贯穿在真空室壁上孔(55)。臂(60)通过一个或多个直线式电动机(90A、90B)往复运动。臂(60)使用万向空气轴承相对于导引板(100)支撑，以便于为臂相对于导引板(100)提供悬臂支撑。为臂(60)进入真空室的适应性穿通装置(130)然后担当真空密封和引导件，但其自身不要提供轴承支撑。法拉第(450)被连接到邻近衬底夹持器(180)的臂(60)，以允许在注入之前和过程中实现束分布的确定。法拉第(450)可以替代地或另外地被安装邻近所述衬底夹持器的后部或与其成90°，并且所述衬底支撑被颠倒或水平并脱离束线，以允许在注入之前实现束分布的确定。 | ||
| 搜索关键词： | 移动 元件 多向 扫描 离子束 监测 设备 | ||
【主权项】：
1.一种半导体处理装置，包括真空处理室，具有室壁；长形元件，其水平延伸穿过所述室壁，并在纵向上可移动地穿过所述室壁；长形元件驱动器，被布置来在所述纵向上驱动所述长形元件；托架，用来支撑所述长形元件和驱动器，所述托架位于所述真空室的外部并为所述长形元件的外端提供悬臂支撑；以及进入真空室中的穿通装置，所述穿通装置容纳所述长形元件并包括用来密封所述长形元件的真空密封。
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