[发明专利]可移动元件的多向扫描和其离子束监测设备

权利要求书

1.一种半导体处理装置，包括

真空处理室，具有室壁；

长形元件，其水平延伸穿过所述室壁，并在纵向上可移动地穿过所述室壁；

长形元件驱动器，被布置来在所述纵向上驱动所述长形元件；

托架，用来支撑所述长形元件和驱动器，所述托架位于所述真空室的外部并为所述长形元件的外端提供悬臂支撑；以及

进入真空室中的穿通装置，所述穿通装置容纳所述长形元件并包括用来密封所述长形元件的真空密封。

2.如权利要求1所述的装置，其中，所述真空密封是适应性的。

3.如权利要求1或2所述的装置，其中，所述托架包括导引板，所述长形元件被布置成沿所述导引板移动，所述装置还包括位于所述长形元件和所述导引板之间的液压轴承。

4.如权利要求3所述的装置，其中，所述液压轴承包括被布置成相对于所述导引板支撑所述长形元件的支撑元件，和形成第一液压轴承表面的万向节头，所述长形元件形成第二液压轴承表面。

5.如权利要求4所述的装置，其中，所述液压轴承的所述支撑元件在通常垂直于所述第一和所述第二液压轴承表面的方向上是适应性。

6.如权利要求1或2所述的装置，其中，所述长形元件驱动器包括至少一个直线式电动机。

7.如权利要求6所述的装置，其中，所述长形元件插入在两直线式电动机之间。

8.如权利要求7所述的装置，其中，所述托架包括其位置相对于所述托架固定的导引板，所述装置还包括布置在所述导引板和所述第一直线式电动机之间的第一轴承，和位于所述导引板和所述长形元件之间的第二轴承。

9.如权利要求8所述的装置，其中，所述第一轴承包括被布置来朝着其所述端以支撑所述长形元件的多个液压轴承元件，每个液压轴承包括在通常垂直于所述长形元件的所述纵轴的方向上是适应性的支撑元件，和形成第一液压轴承表面的万向节头，所述导引板为每个液压轴承元件提供第二液压轴承表面。

10.如权利要求1或2所述的装置，其中，所述穿通装置在垂直于所述长形元件的所述纵轴的方向上是适应性，并且其中所述真空密封是差别式抽气真空密封。

11.如权利要求1或2所述的装置，其中，所述长形元件在横截面上通常是圆环形的，所述装置还包括可选择地围绕所述长形元件的纵轴旋转所述长形元件的旋转驱动装置。

12.如权利要求1或2所述的装置，还包括被布置来平衡作用在所述可移动长形元件的固定力的力补偿器。

13.一种安装往复移动进入和离开半导体处理装置的真空室的长形元件的方法，该方法包括：

(a)相对于托架支撑长形元件，所述长形元件通过位于朝向所述长形元件第一端的至少一个负载轴承器件支撑，其中所述第一端在所述真空室的外部；以及

(b)安装所述长形元件穿过位于所述真空室的内部和其外部之间的真空密封；

其中，由所述长形元件造成的负载基本上由所述或每个负载轴承器件承载，使得真空密封作为所述长形元件在往复移动过程中的无负载轴承引导。

14.如权利要求13所述的装置，其中，所述或每个负载轴承器件的长度是可调节的，并包括在长度调节的方向上适应性的支撑和万向节头，支撑所述长形元件的步骤还包括：

调节所述或每个负载轴承器件的长度直到万向节头紧靠所述托架，以及

向所述万向节头的区域提供液体供应，以便于从所述托架上举起所述万向节头，并由此在所述万向节头和所述托架之间形成液压轴承。

15.一种用于长形元件进入半导体处理装置的真空室中的穿通装置的真空密封，所述真空室具有室壁元件，所述真空密封包括：

外安装件，固定在所述壁元件上并具有在穿过所述室壁元件的方向上延伸的纵轴；

内轴承，径向地安装在所述外安装件的内部，所述内轴承相对于外安装件可移动，其大小可容纳穿过其的所述长形元件，并且同样具有在穿过所述室壁的方向上延伸的纵轴；以及

多个适应性衬垫，布置在所述内轴承和所述外安装件之间，所述适应性衬垫轴向地沿所述内轴承和外安装件的所述纵轴间隔开。