[发明专利]光致抗蚀剂组合物无效
| 申请号： | 200710096933.5 | 申请日： | 2007-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN101071266A | 公开（公告）日： | 2007-11-14 |
| 发明（设计）人： | 金东敏;金柄郁;朴大然;金周赫;崔基植;金贞元;李起范;卞哲基;金纹秀;金炳厚;边滋勋;申在浩 | 申请（专利权）人： | 株式会社东进世美肯 |
| 主分类号： | G03F7/016 | 分类号： | G03F7/016;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京金信立方知识产权代理有限公司 | 代理人： | 朱梅;徐志明 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种适于制造液晶显示装置的电路、半导体集成电路等微细电路的光致抗蚀剂组合物，具体涉及一种包含由下述化学式1表示的酚醛清漆树脂、重氮类感光性化合物、有机溶剂的光致抗蚀剂组合物。上述化学式1中，R表示氢、羟基或甲基，n是3至20的整数。本发明的光致抗蚀剂组合物，由于加入了酚醛清漆树脂，具有优异的耐热性及分辨率，且可提高图案均匀性。所述酚醛清漆树脂由芳香族醇聚合而成，所述芳香族醇包含间甲酚、对甲酚、间苯二酚。 | ||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种光致抗蚀剂组合物，其特征在于，该组合物包含：a)由下述化学式1表示的酚醛清漆树脂；b)重氮类感光性化合物；c)有机溶剂，化学式1![]()
在上述化学式1中，R表示氢、羟基或甲基，n是3至20的整数。
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