[发明专利]定向膜的图形形成方法有效
| 申请号： | 200710087965.9 | 申请日： | 2007-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN101017287A | 公开（公告）日： | 2007-08-15 |
| 发明（设计）人： | 村濑英寿;佐佐木良成;山田尚树;阿苏幸成 | 申请（专利权）人： | 索尼株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/1337 | 分类号： | G02F1/1337;H01S3/00;B23K26/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种简便且高精度的定向膜的图形形成方法。形成聚酰亚胺膜(5)以便覆盖在玻璃基板(2)上形成的金属膜(3)和透明电极膜(4)的整个面板基板(30)之后，通过由显示顶部平坦化的能量强度分布且具有在140mJ/cm2以上并在400mJ/cm2以下能量的ArF受激准分子激光进行照射，有选择地除去聚酰亚胺膜。通过引起烧蚀反应，聚酰亚胺膜(5)升华，不对金属膜(3)或透明电极膜(4)造成损伤，且在短时间内能够简便地形成规定形状的定向膜图形(5A)。 | ||
| 搜索关键词： | 定向 图形 形成 方法 | ||
【主权项】：
1、一种定向膜的图形形成方法，其特征在于，包括：在金属膜上形成有透明电极膜的基板上，在整个面上形成由聚酰亚胺组成的定向膜的工序；通过照射能量范围含有在200mJ/cm2以上并在350mJ/cm2以下的范围且波长在180nm以上并在280nm以下的激光光束，有选择地除去上述定向膜的工序。
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