[发明专利]一种快速RF自动阻抗匹配方法有效
| 申请号： | 200710063223.2 | 申请日： | 2007-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN101217096A | 公开（公告）日： | 2008-07-09 |
| 发明（设计）人： | 武晔 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/00 | 分类号： | H01J37/00;H05H1/00;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人： | 练光东 |
| 地址： | 100016*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及射频传输技术领域，尤其涉及一种快速RF自动阻抗匹配的方法。本发明提供的快速RF自动阻抗匹配方法采用至少两个不同的比例系数和死区大小来使阻抗位置向匹配点靠近。在阻抗位置距匹配点较远时，选择较大的比例系数k1、k2和死区ΔZ、Δθ，以保证快速进入死区；当阻抗位置在匹配点附近时，相应减小比例系数k1、k2和死区ΔZ、Δθ，以保证匹配精度。本发明解决了固定比例系数较大时系统容易产生“超调”，导致阻抗点在匹配位置附近震荡；固定比例系数较小时系统匹配速度慢，匹配时间长的问题。同时，该方法还解决了固定死区较大时系统匹配精度差；固定死区较小时，系统不易匹配，导致震荡现象的问题，提高了系统匹配的精度和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 rf 自动 阻抗匹配 方法 | ||
【主权项】：
1.一种快速RF自动阻抗匹配方法，其特征在于：采用至少两个不同的比例系数和死区大小来使阻抗位置向匹配点靠近。
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