[发明专利]一种快速RF自动阻抗匹配方法

权利要求书

1.一种快速RF自动阻抗匹配方法，其特征在于：

采用至少两个不同的比例系数和死区大小来使阻抗位置向匹配点靠近。

2.如权利要求1所述的快速RF自动阻抗匹配方法，其特征在于：在阻抗位置距匹配点较远时，选择较大的比例系数k1、k2和死区ΔZ、Δθ，以保证快速进入死区；当阻抗位置在匹配点附近时，相应减小比例系数k1、k2和死区ΔZ、Δθ，以保证匹配精度。

3.如权利要求2述的快速RF自动阻抗匹配方法，其特征在于：利用与匹配网络输入阻抗模值相关的误差信号|Z|_error来调节并联电容C1，利用与匹配网络输入阻抗相角相关的误差信号θ_error来调节串联电容C2；在阻抗位置距匹配点较远时，|Z|_error和θ_error较大，反之，|Z|_error和θ_error较小。

4.如权利要求3所述的快速RF自动阻抗匹配方法，其特征在于：

采用双比例系数和双死区设置时，与匹配网络输入阻抗模值相关的误差信号|Z|_error的比例系数为k₁₁、k₁₂且k₁₁＞k₁₂，其死区大小为ΔZ₁、ΔZ₂且ΔZ₁＞ΔZ₂＞0；

当|Z|_error＞ΔZ₁时，驱动真空电容C1旋转的步进电机M1的位置变化量为ΔP₁＝k₁₁*|Z|_error＞0，C1值以较快的速度增大；当|Z|_error＜-ΔZ₁时，驱动真空电容C1旋转的步进电机M1的位置变化量为ΔP₁＝k₁₁*|Z|_error＜0，C1值以较快的速度减小；

当ΔZ₂＜||Z|_error|＜ΔZ₁时，|Z|_error落入死区1，比例系数切换为k₁₂；若ΔZ₁＞|Z|_error＞ΔZ₂，则ΔP₁＝k₁₂*|Z|_error＞0，C1以较慢的速度增大；若-ΔZ₁＜|Z|_error＜-ΔZ₂，则ΔP₁＝k₁₂*|Z|_error＜0，C1以较慢的速度减少。

直到-ΔZ₂＜|Z|_error＜ΔZ₂时，|Z|_error落入死区2，电机停止运转。

5.如权利要求4所述的快速RF自动阻抗匹配方法，其特征在于用θ_error调节真空电容C2的方法与调节C1的|Z|_error的方法相同。

6.如权利要求4或5所述的快速RF自动阻抗匹配方法，其特征在于也可用伺服电机和空气电容替代所述步进电机和真空可变电容作为本方法的执行机构。

7.如权利要求1所述的快速RF自动阻抗匹配方法，其特征在于至少两个的比例系数和死区设置，在选取时可以相互配合，找到解决各种问题的最佳配置。

8.如权利要求1所述的快速RF自动阻抗匹配方法，其特征在于本方法适用于L型网络、T型网络或π型网络的两个可变阻抗元件的匹配网络。