[发明专利]组合的步进器和沉积工具有效
| 申请号： | 200680043778.4 | 申请日： | 2006-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN101313250A | 公开（公告）日： | 2008-11-26 |
| 发明（设计）人： | M·P·丘德齐克;J·F·小谢泊德 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种步进器在形成集成电路的过程中与沉积材料层的硬件组合，因此执行沉积、构图和清洗，而无需将晶片暴露于工具之间的传送，并且将三个工具的功能组合在一个复合工具中。通过施加穿过步进器的掩膜的UV光来去除图案限定材料，从而消除现有技术方法的烘焙和显影步骤。类似地，UV的整片曝光消除现有技术方法的清洗步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 组合 步进 沉积 工具 | ||
【主权项】：
1.一种用于在工件上沉积已构图结构材料层的设备，包括：沉积模块，具有气体供给装置和用于沉积结构材料的装置，所述气体供给装置用于使至少一种气体在所述工件上流动，所述至少一种气体包括图案材料形成气体，以及曝光模块，包括对准工件的粒子源以及调节所述粒子的分布的构图单元。
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