[发明专利]源部件、安装源部件的设备、以及安装和移走源部件的方法

摘要

本发明涉及用于将源部件装入气体沉积反应器内的设备。设备包括至少一个用于源部件的源部件配接头，源部件配接头连接到气体沉积反应器的反应空间，且源部件至少部分的装入源部件配接头或连接源部件配接头的源部件空间内。依照本发明，设备还包括在源部件配接头内用于接收源部件的接收装置，和将源部件装入源部件配接头中以便使用的适当位置的装载装置，和配设在源部件内用于固态或液态源材料(3)的腔室(1)，以及用于将腔室(1)完全与外界隔离的隔离装置(7，19)。

主权项

1.用于气体沉积方法的源部件，所述源部件能至少部分地插入一配设在一气体沉积反应器内的源部件配接头内、或一连接至所述源部件配接头的源部件空间内，其特征在于，所述源部件包括一用于固态或液态源材料(3)的腔室(1)，所述腔室(1)包括至少一个至少部分敞开的壁、和盖状隔离装置，所述盖状隔离装置能布置在所述腔室(1)的壁上，用于将所述腔室与外界隔离，所述盖状隔离装置和所述腔室(1)布置成彼此相互滑动，以便在所述源部件装入所述源部件配接头内后，开启和/或闭合所述腔室(1)。