[发明专利]Cu-Mo基板及其制造方法无效

专利信息
申请号: 200680000911.8 申请日: 2006-05-23
公开(公告)号: CN101032022A 公开(公告)日: 2007-09-05
发明(设计)人: 横田将幸;盐见和弘;菊井文秋;石尾雅昭 申请(专利权)人: 株式会社新王材料
主分类号: H01L23/14 分类号: H01L23/14;H01L23/373;H01L25/07;H01L25/18
代理公司: 北京纪凯知识产权代理有限公司 代理人: 龙淳
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明涉及一种Cu-Mo基板(10),其具备:含有Cu作为主要成分的Cu基材(1);具有相对置的第一和第二主面(2a、2b)并含有Mo作为主要成分的Mo基材(2),其中,Mo基材的第二主面(2b)配置在Cu基材(1)的主面(1a)的至少一部分上;和覆盖Mo基材(2)的第一主面(2a)和侧面(2c、2d)并含有1质量%以上13质量%以下的Sn的第一Sn-Cu系合金层(3)。
搜索关键词: cu mo 及其 制造 方法
【主权项】:
1.一种Cu-Mo基板,其特征在于,具备:含有Cu作为主要成分的Cu基材;具有相对置的第一和第二主面并含有Mo作为主要成分的Mo基材,其中,所述Mo基材的所述第二主面配置在所述Cu基材的主面上;和覆盖所述Mo基材的所述第一主面和侧面并含有1质量%以上13质量%以下的Sn的第一Sn-Cu系合金层。
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