[发明专利]Cu-Mo基板及其制造方法无效
申请号: | 200680000911.8 | 申请日: | 2006-05-23 |
公开(公告)号: | CN101032022A | 公开(公告)日: | 2007-09-05 |
发明(设计)人: | 横田将幸;盐见和弘;菊井文秋;石尾雅昭 | 申请(专利权)人: | 株式会社新王材料 |
主分类号: | H01L23/14 | 分类号: | H01L23/14;H01L23/373;H01L25/07;H01L25/18 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人: | 龙淳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及一种Cu-Mo基板(10),其具备:含有Cu作为主要成分的Cu基材(1);具有相对置的第一和第二主面(2a、2b)并含有Mo作为主要成分的Mo基材(2),其中,Mo基材的第二主面(2b)配置在Cu基材(1)的主面(1a)的至少一部分上;和覆盖Mo基材(2)的第一主面(2a)和侧面(2c、2d)并含有1质量%以上13质量%以下的Sn的第一Sn-Cu系合金层(3)。 | ||
搜索关键词: | cu mo 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种Cu-Mo基板,其特征在于,具备:含有Cu作为主要成分的Cu基材;具有相对置的第一和第二主面并含有Mo作为主要成分的Mo基材,其中,所述Mo基材的所述第二主面配置在所述Cu基材的主面上;和覆盖所述Mo基材的所述第一主面和侧面并含有1质量%以上13质量%以下的Sn的第一Sn-Cu系合金层。
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