[发明专利]陶瓷金属膜3维结构载体的生产工艺无效

专利信息
申请号: 200610095058.4 申请日: 2006-08-25
公开(公告)号: CN101131937A 公开(公告)日: 2008-02-27
发明(设计)人: 张健;陈其林 申请(专利权)人: 重庆卓为电子技术有限公司
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48;H05K3/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 400060重庆市南*** 国省代码: 重庆;85
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摘要: 发明属于陶瓷金属薄膜、厚膜产品加工生产的工艺技术领域。目前常用的陶瓷金属膜2维结构产品的加工,是在陶瓷基板的平面上进行,一般在基板金属化的基础上通过一两次光刻,或者通过金属浆料的印制、烧结,然后切割成设计的平面矩形结构就算完成。本发明涉及的陶瓷金属膜3维结构载体的生产技术,比2维结构产品的加工要复杂得多,但是完全适合于陶瓷薄膜和陶瓷厚膜两种工艺相关产品的加工。无论是采用薄膜工艺,还是采用厚膜工艺,本发明涉及的陶瓷金属膜3维结构载体生产加工的关键,都是在基板金属化后(前)的基础上,采用砂轮划片机切割出带槽的陶瓷长条,然后分别完成正面、侧面金属图形的制作,由此得到陶瓷金属膜3维结构的载体。
搜索关键词: 陶瓷 金属膜 结构 载体 生产工艺
【主权项】:
1.为制造陶瓷金属膜小型3维结构载体而发明的生产工艺技术,其特征在于首先在小于或者等于1mm的陶瓷基板(1)上通过特殊工艺制作完成设计的金属膜图形(2);采用机器切割、金刚细沙打磨的工艺制备一个特定的平整的侧面(3);第二次应用金属化的工艺方法,在选定的侧面上制备与陶瓷基板正面金属相连接的金属膜图形(4)。
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