[发明专利]多芯片堆叠的封装方法及其封装结构有效
申请号: | 200610082830.9 | 申请日: | 2006-06-13 |
公开(公告)号: | CN101090080A | 公开(公告)日: | 2007-12-19 |
发明(设计)人: | 胡朝雄 | 申请(专利权)人: | 日月光半导体制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;H01L21/56;H01L21/50;H01L25/00;H01L25/065;H01L23/488;H01L23/31;H01L23/36;H01L23/552 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人: | 梁挥;徐金国 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种多芯片堆叠的封装结构,其包括:一基板、至少一第一芯片、及至少一第二芯片。基板具有绝缘层、金属层及焊罩层,其中金属层包括分别形成在绝缘层上端的一导电迹线区及一遮蔽区,焊罩层形成在金属层的导电迹线区上。第一、二芯片分别与导电迹线区电连接,并分别设置在焊罩层上,其中第一芯片的封装体与金属层的一表面连接,使得第一芯片位于焊罩层与金属层的遮蔽区之间;而第二芯片的封装体与金属层的另一表面连接,使得第二芯片位于焊罩层与金属层的遮蔽区之间。 | ||
搜索关键词: | 芯片 堆叠 封装 方法 及其 结构 | ||
【主权项】:
1、一种多芯片堆叠的封装方法,其特征在于,该方法包括:提供一绝缘层;在该绝缘层上形成一金属层,其中该金属层包括一导电迹线区及一遮蔽区;在该金属层的该导电迹线区上形成一焊罩层;在该焊罩层上使用一封装胶以封装至少一第一芯片及至少一第二芯片,以形成一第一芯片的封装体及一第二芯片的封装体,并使该芯片与该导电迹线区实现电连接;以及弯折该绝缘层及该金属层,使该金属层的该遮蔽区表面及该绝缘层表面分别与该第一芯片的封装体及该第二芯片的封装体连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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