[发明专利]蚀刻液组合物有效
| 申请号： | 200610054744.7 | 申请日： | 2006-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN101033549A | 公开（公告）日： | 2007-09-12 |
| 发明（设计）人： | 黑岩健次;加藤胜 | 申请（专利权）人： | 关东化学株式会社 |
| 主分类号： | C23F1/16 | 分类号： | C23F1/16;C23F1/20 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 陈建全 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供不含有醋酸、没有刺激气味、性能变化小，可以在半导体装置和平板显示装置等电子装置的制造工序中使用的各种金属薄膜和金属氧化物薄膜的蚀刻液组合物。该蚀刻液组合物含有磷酸、硝酸、甲氧基醋酸和水。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 组合 | ||
【主权项】：
1、一种对金属薄膜进行蚀刻的蚀刻液组合物，其含有磷酸、硝酸、甲氧基醋酸和水。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于关东化学株式会社，未经关东化学株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610054744.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：单相和三相阻抗源升降压交/交变换器
- 下一篇：一种高频皮肤治疗器具
