[发明专利]物体表面三维形貌信息测量装置

摘要

物体表面三维形貌信息测量装置，涉及一种几何量测量装置，尤其是涉及一种物体表面三维形貌信息测量装置。提供一种基于无衍射光的概念，利用新的激光三角测量法，解决被测物面倾斜给测量带来的问题，采用单光束、单光电探测器件的物体表面三维形貌信息测量装置。设有激光器、准直光学系统、等腰直角棱镜、2个旋转棱镜、环状内反射镜和光电探测器阵列，准直光学系统设于激光器发出的单光束正前方；等腰直角棱镜的直角部分对准经准直的单光束的入射方向；2个旋转棱镜的中心轴同轴；环状内反射镜的球心与对称轴位于旋转圆锥棱镜的中心轴上；光电探测器阵列设于旋转圆锥棱镜的成像基准点。

主权项

1.物体表面三维形貌信息测量装置，其特征在于设有：激光器，用于发出单光束；准直光学系统，用于对激光器发出的单光束准直，设于激光器发出的单光束正前方；等腰直角棱镜，用于将经准直的单光束耦合进入旋转圆锥棱镜，等腰直角棱镜的直角部分对准经准直的单光束的入射方向；2个旋转棱镜，1个用于形成无衍射光，并垂直入射被测物面以产生漫反射，另1个用于将经环状内反射镜折射的反射光聚焦于光电探测器阵列，2个旋转棱镜的中心轴同轴；环状内反射镜，用于将被测物面产生的漫反射光反射并再次进入旋转圆锥棱镜成像到光电探测器阵列上，环状内反射镜的球心与对称轴位于旋转圆锥棱镜的中心轴上；光电探测器阵列，用于接收成像信息，光电探测器阵列设于旋转圆锥棱镜的成像基准点。