[发明专利]金属/半导体/金属结构TiO2紫外光探测器及制备

摘要

本发明具体涉及一种以纳米晶体TiO₂薄膜材料为基体的金属－半导体－金属结构(MSM)的光伏型紫外光探测器及该紫外光探测器的制备方法。从下到上依次包括绝缘衬底、用溶胶凝胶法在绝缘衬底上生长的纳米晶体TiO₂薄膜、在纳米晶体TiO₂薄膜上用蒸发或溅射的方法制备的插指金属电极。该探测器的制备方法是：首先采用溶胶－凝胶技术在绝缘衬底上生长一层均匀致密的纳米晶体TiO₂薄膜，然后在纳米晶体TiO₂薄膜的表面溅射－层金属，最后利用标准光刻技术形成插指电极。本发明制备的MSM结构的光伏型紫外光探测器，具备制备方法简单、便于掌握的优点，对波长从230nm到280nm的紫外波段，探测器有很明显的光响应。

主权项

1、金属/半导体/金属结构TiO2紫外光探测器本发明的探测器，其特征在于：从下到上依次包括绝缘衬底、纳米晶体TiO2薄膜、插指金属电极。