[发明专利]空心柱型电容器及其制造方法

摘要

一种空心柱型电容器，至少是由衬底、空心柱型下电极、结构层、上电极和电容介质层所构成。而衬底中具有数个插塞，有数个空心柱型下电极就位于衬底上并与插塞电连接。而结构层是分别围绕于各个空心柱型下电极的外围，其中围绕于两相对空心柱型下电极的结构层互不接触，而围绕于两相邻空心柱型下电极的结构层则互相连接。此外，上电极分别覆盖于各个空心柱型下电极，电容介质层则位于每个上电极与每个空心柱型下电极之间。因为结构层的关系，所以能够改善整个空心柱型电容器的机械强度，并可增加电容器密度。

主权项

1.一种空心柱型电容器的制造方法，其特征是包括：提供衬底，该衬底具有插塞；于该衬底上依次形成第一介质层、结构层、第二介质层以及蚀刻中止层；于该第一介质层、该结构层、该第二介质层以及该蚀刻中止层中形成孔洞，该孔洞暴露出该插塞；于该衬底上形成导体层，覆盖该蚀刻中止层与该孔洞的内表面；移除该孔洞顶部的该导体层，以露出部分该第二介质层，其中保留下来的该导体层就当作下电极；各向同性蚀刻露出的部分该第二介质层，以于该孔洞顶部形成开口；移除该蚀刻中止层；于该开口和该孔洞内填满材料层；移除该第二介质层；以该材料层作为掩膜，各向异性蚀刻该结构层，并露出部分该第一介质层；移除该第一介质层，以完全露出该下电极；于该下电极表面形成电容介质层；以及于该电容介质层表面形成上电极。