[发明专利]氮化物半导体发光器件及其制备方法有效
申请号: | 200580041803.0 | 申请日: | 2005-12-05 |
公开(公告)号: | CN101073161A | 公开(公告)日: | 2007-11-14 |
发明(设计)人: | 李昔宪 | 申请(专利权)人: | LG伊诺特有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 蔡胜有;刘继富 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 提供了一种氮化物半导体发光器件,包括:衬底;在衬底上形成的第一缓冲层;在第一缓冲层上形成的含铟第二缓冲层;在第二缓冲层上形成的含铟第三缓冲层;在第三缓冲层上形成的第一氮化物半导体层;在第一氮化物半导体层上形成的有源层;和在有源层上形成的第二氮化物半导体层。根据本发明,晶体缺陷得到进一步抑制,使得有源层的结晶度得到提高,并且光功率和可靠性也得到提高。 | ||
搜索关键词: | 氮化物 半导体 发光 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1、一种氮化物半导体发光器件,包括:衬底;在所述衬底上形成的第一缓冲层;在所述第一缓冲层上形成的含铟第二缓冲层;在所述第二缓冲层上形成的含铟第三缓冲层;在所述第三缓冲层上形成的第一氮化物半导体层;在所述第一氮化物半导体层上形成的有源层;和在所述有源层上形成的第二氮化物半导体层。
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