[实用新型]具有多个测量座的台座空隙平准调整工具无效
| 申请号： | 200520016814.0 | 申请日： | 2005-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN2825653Y | 公开（公告）日： | 2006-10-11 |
| 发明（设计）人： | 罗宾·泰诺 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C16/52 | 分类号： | C23C16/52;H01L21/205 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人： | 包红健 |
| 地址： | 美国加利福尼亚州CA9*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种具有多个量测座的台座空隙平准调整工具，用于在化学气相沉积室内校正台座与扩散器间的相对位置，其中该台座支撑基板且可在该沉积室体中沿着台座轴进行垂直方向移动，及该扩散器，用于将工艺气体扩散至该腔体中，其具有：多个支撑座，可被放置在该台座上的任意指定位置；及多个感应器，分别设置于上述支撑座上，用于在个别指定位置测量该台座与扩散器之间的距离。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 测量 台座 空隙 平准 调整 工具 | ||
【主权项】：
1.一种具有多个测量座的台座空隙平准调整工具，用于在化学气相沉积室内校正台座与扩散器间的相对位置，其中该台座支撑基板且可在该沉积室体中沿着台座轴进行垂直向移动，及该扩散器，用于将工艺气体扩散至该腔体中，其特征是具有：多个支撑座，可被放置在该台座上的任意指定位置；及多个感应器，分别设置于上述支撑座上，用于在个别指定位置测量该台座与扩散器之间的距离。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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