[发明专利]电子式熔线无效
申请号: | 200510080091.5 | 申请日: | 2005-06-29 |
公开(公告)号: | CN1770443A | 公开(公告)日: | 2006-05-10 |
发明(设计)人: | 郑光茗;郑钧隆;刘重希;庄学理;吴显扬;陈晞白 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/525 | 分类号: | H01L23/525;H01L21/768 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人: | 刘新宇 |
地址: | 台湾省新竹科学*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供一种电子式熔线。在一基材上形成一第一层导线。在第一层导线上方,形成一介层窗。此介层窗最好包括一阻障层及一导电材料。在介层窗上方,形成一第二层导线。形成一第一外部接合垫,此第一外部接合垫耦接至第一层导线。形成一第二外部接合垫,此第二外部接合垫耦接至第二层导线。此介层窗、第一层导线及第二层导线作为一电子式熔线。此电子式熔线可经由施加一电流将其烧毁。该垂直结构可形成于任何层里。本发明所述电子式熔线可提高修补速率,降低成本,且缩小晶片尺寸。 | ||
搜索关键词: | 电子 式熔线 | ||
【主权项】:
1、一种电子式熔线,其特征在于所述电子式熔线包括:一第一导电层;一第二导电层;以及一介层窗,耦接于该第一导电层以及该第二导电层之间,其中,该介层窗、该第一导电层以及该第二导电层作为一电子式熔线。
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