[发明专利]金属有机物化学气相淀积设备反应室中的公转自转机构

摘要

本发明金属有机物化学气相淀积设备反应室中的公转自转机构，涉及半导体设备制造领域，特别是涉及金属有机物化学气相淀积(MOCVD)设备中的衬底基座旋转机构。该金属有机物化学气相淀积设备中的公转自转机构：(1)该反应室中的大石墨舟围绕一公共固定点公转，小石墨舟围绕各自中心点自转；(2)用电机带动衬底基座(大石墨舟)公转；(3)用电机带动衬底基座(小石墨舟)自转；(4)用耐热材料将高温区(衬底机座)和低温区(旋转动力机构)隔开，同时传递旋转动力。

主权项

1、一种金属有机物化学气相淀积设备反应室中的公转自转机构，由公转皮带轮、主轴、大石墨舟、小石墨舟、自转行星轮、太阳轮、反应室外壁、支撑架、轴承和石英支架组成，其特征在于：(1)该反应室中的大石墨舟围绕一公共固定点公转，小石墨舟围绕各自中心点自转；(2)公转和自转都由电机通过机械传动机构带动旋转；其中：反应室外壁内部底面上固设有支撑架，支撑架为盒状；反应室外壁和支撑架共一中心轴线，反应室外壁底面和支撑架顶面上，在中心轴线位置各有一孔；在反应室外壁和支撑架的中心轴线上竖直设一主轴，主轴为中空管状，主轴上部伸出支撑架的顶面中心孔，其侧面和支撑架顶面动接触，主轴下端与反应室外壁内底面动接触，主轴由反应室外壁和支撑架定位；主轴底端外周圆固设有齿轮，主轴上端外周圆固设一圆盘状平台，圆盘状平台上固设有石英支架，石英支架为盒状，石英支架与反应室外壁、支撑架共一中心轴线，在石英支架顶面的中心轴线上有一中心孔，一石英管置于孔中，其下部向下延伸，通过主轴内腔由反应室外壁底面上的孔中伸出；石英支架顶面固设有大石墨舟，大石墨舟顶面的内圆周面上均布有至少三个小石墨舟，小石墨舟与大石墨舟动接触；各小石墨舟底面中心向下竖直固定设置转轴，转轴穿过石英支架，其下端与水平设置的行星轮的中心固接，水平设置的行星轮位于圆盘状平台下方；一太阳轮设于支撑架与圆盘状平台之间，太阳轮的中心孔套于主轴的外周圆，与主轴动连接；太阳轮为外齿结构，其上部与行星轮相啮合，下端面固接于支撑架的顶面；主轴一侧，于支撑架上竖直设有公转转轴，转轴下端伸出反应室外壁底面，固接于公转皮带轮中心，上端伸出支撑架的顶面，由反应室外壁和支撑架定位，在公转转轴与反应室外壁底面相接部设有磁流体轴承，以确保密封性；在反应室外壁底面内侧处，公转转轴上固设有齿轮，该齿轮与主轴底端齿轮相啮合，公转皮带轮通过皮带与电机相连接。