[发明专利]图形描绘装置和图形描绘方法有效

专利信息
申请号: 200510066854.0 申请日: 2005-04-29
公开(公告)号: CN1716099A 公开(公告)日: 2006-01-04
发明(设计)人: 城田浩行 申请(专利权)人: 大日本网目版制造株式会社
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20;H01L21/027
代理公司: 隆天国际知识产权代理有限公司 代理人: 高龙鑫;王玉双
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种图形描绘装置和图形描绘方法,与DMD的微小反射镜对应的光照射区域(61)的排列相对设定在基板上的描绘单元(620)的排列而倾斜,使光照射区域组相对描绘单元组而在主扫描方向上相对移动,由此进行图形的描绘,在此情况下,在大致主扫描方向上相互邻接的2个光照射区域(61)中,相对于副扫描方向的中心间的距离等于描绘单元(620)的描绘间距,并且相对于主扫描方向的中心间的距离为描绘间距的a倍,在使光照射区域组相对移动描绘间距的n倍(其中,n表示3或其以上的整数)的距离的期间,一次控制对各光照射区域(61)的光照射的ON/OFF。在此,(a2+1)与n互为素数,由此可以高分辨率、高速地描绘适当的图形。
搜索关键词: 图形 描绘 装置 方法
【主权项】:
1.一种图形描绘装置,对感光材料照射光而描绘图形,其特征在于,包括:光照射部,该光照射部对在感光材料上,在相互垂直的2个排列方向上以一定间距排列的光照射区域组的每一个照射调制后的光;扫描机构,该扫描机构在感光材料上沿相对于排列方向倾斜的扫描方向扫描上述光照射区域组,相对于在上述扫描方向和与上述扫描方向垂直的方向上以一定的描绘间距固定排列在上述感光材料上的描绘区域组的每一个,使多个光照射区域相对通过;控制部,该控制部与上述光照射区域组的扫描同步,分别控制对上述光照射区域组的光照射的通/断,由此控制照射于感光材料上的各描绘区域的光的量,在上述光照射区域组的上述2个排列方向中的基本沿着上述扫描方向的方向上相互邻接的光照射区域中,相对于与上述扫描方向垂直的方向的中心间的距离与上述描绘间距相等,相对于上述扫描方向的中心间的距离为上述描绘间距的a倍,其中a为2或2以上的整数,上述控制部在使上述光照射区域组相对移动上述描绘间距的n倍的距离的期间,其中n为3或3以上的整数,一次控制上述光照射的通/断,而a2+1与n互为素数。
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