[发明专利]具有通孔互连的装置及其制造方法无效
申请号: | 200510055503.X | 申请日: | 2005-03-14 |
公开(公告)号: | CN1671273A | 公开(公告)日: | 2005-09-21 |
发明(设计)人: | 山本敏;末益龙夫 | 申请(专利权)人: | 株式会社藤仓 |
主分类号: | H05K3/40 | 分类号: | H05K3/40;H05K1/11;H05K1/00;H05K3/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 徐谦;杨红梅 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种具有改进的电连接的装置,包括第一基板,其包括第一侧和第二侧;功能元件,其在所述第一基板的第一侧;被电连接到所述功能元件的垫;以及通孔互连,其被提供在从第一侧延伸通过所述第一基板到第二侧的孔中,所述通孔互连包括第一导电材料并且被电连接到所述垫,以及导电区,其被沿所述孔的内表面的一部分提供,并且由与第一导电材料不同的第二导电材料制成。 | ||
搜索关键词: | 具有 互连 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种装置,包括:第一基板,包括第一侧和第二侧;功能元件,其在第一基板的第一侧上;垫,其电连接到所述功能元件;以及通孔互连,其被提供在从所述第一侧延伸通过第一基板到所述第二侧的孔中,所述通孔互连包括:第一导电材料,其被电连接到所述垫;以及导电区,其被沿着所述第一导电材料与所述第一基板之间的孔的内表面提供,包括不同于第一导电材料的第二导电材料。
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