[发明专利]具有孔洞的影像感测装置及其制造方法

摘要

本发明是一种具有孔洞的影像感测装置及其制造方法，本发明的影像感测装置包括：具有感测器的一半导体基底，其上形成有至少一第一绝缘层。多个孔洞形成于第一绝缘层中。一第二绝缘层，覆盖第一绝缘层与孔洞，其中第二绝缘层并未填满孔洞。上述孔洞在位于感测器上方的第一绝缘层中形成了中空区，导致更多的光和能量穿越第一绝缘层而到达感测器，因而提升感测器的感测度。

主权项

1、一种具有孔洞的影像感测装置，其特征在于所述具有孔洞的影像感测装置包括：一基底，该基底包含第一区与第二区；一感测器，形成于第一区中；至少一第一绝缘层，覆盖该第一区中的该感测器以及该第二区之上；多个孔洞，形成于覆盖该感测器的该第一绝缘层中；以及一第二绝缘层，覆盖该第一绝缘层与该孔洞之上，其中每一孔洞形成了位于该第二绝缘层下方的中空区域，该中空区域位于该第一绝缘层中。