[发明专利]气相沉积制备单晶掺杂氧化锌纳米管的方法及其装置有效
申请号: | 200510011920.4 | 申请日: | 2005-06-13 |
公开(公告)号: | CN1696342A | 公开(公告)日: | 2005-11-16 |
发明(设计)人: | 周少敏;张晓宏;孟祥敏 | 申请(专利权)人: | 中国科学院理化技术研究所 |
主分类号: | C23C16/46 | 分类号: | C23C16/46;C23C16/40 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人: | 李柏 |
地址: | 100101*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明属于低维纳米材料和纳米技术领域,特别涉及一种用箱式电阻炉通过流变相化学反应与物理气-液-固晶体生长机制相结合的气相沉积制备单晶掺杂氧化锌纳米管的方法及其装置。该方法是将氧化锌粉末及用于掺杂的选自锑、镉、铜及铁中任一种金属氧化物粉末混合,溶解在稀醋酸或稀硝酸溶液中制成锌盐溶液,然后与聚乙烯醇混合,加热,搅拌,陈化形成凝胶,将其移入带有盖的石英钳埚中,在箱式电阻炉中升温,加热,反应,冷却,大量的单晶掺杂氧化锌纳米管生成,掺杂量为氧化锌的0.1~5%mol,直径为20~200nm,长度达0.5~10μm。该方法工艺简单,对设备要求低,可控程度高,是单晶掺杂氧化锌纳米管制备的好方法和好装置。 | ||
搜索关键词: | 沉积 制备 掺杂 氧化锌 纳米 方法 及其 装置 | ||
【主权项】:
1.一种气相沉积制备单晶掺杂氧化锌纳米管的方法,其特征是,所述的方法的步骤为:(1)将氧化锌粉末及用于掺杂有选自锑、镉、铜及铁中任一种金属氧化物粉末混合,混合量为氧化锌的0.2~10%mol,混合后的粉末溶解在稀醋酸或稀硝酸溶液中制成0.1~4M的醋酸或硝酸锌溶液,以每25~500ml这样的锌盐溶液与1~20g聚乙烯醇混合,然后在50~100℃下加热并搅拌,陈化,形成凝胶态产物;(2)将步骤(1)得到的凝胶态产物移入石英钳埚中并盖上石英钳埚盖,在箱式电阻炉的中升温,升温速度为20~100℃/分钟,加热到400~1200℃;在石英钳埚盖上得到气相沉积产品,即可得到掺杂氧化锌纳米管,掺杂氧化锌纳米管的掺杂量为氧化锌的0.1~5%mol。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的