[发明专利]硅烷化合物、聚硅氧烷以及放射线敏感性树脂组合物

摘要

本发明提供适合作为I－D偏差、焦点会聚范围(DOF)等特别优异的化学放大型抗蚀剂中的树脂成分的新型聚硅氧烷，作为合成该聚硅氧烷的原料等有用的新型硅烷化合物，和含有该聚硅氧烷的放射线敏感性树脂组合物。硅烷化合物用下述式(I)表示。聚硅氧烷具有下述式(1)表示的结构单元(R表示烷基，R¹与R²表示氟原子、低级烷基或低级氟代烷基，n是0或1，k是1或2，i是0～10的整数)。放射线敏感性树脂组合物含有该聚硅氧烷和放射线敏感性酸发生剂。

主权项

1.下述式(I)表示的硅烷化合物，式(I)中，各R相互独立地表示C_1-20的直链状、支链状或环状的烷基，R¹与R²相互独立地表示氟原子、C_1-4的直链状或支链状的烷基或C_1-4的直链状或支链状的氟代烷基，n是0或1，k是1或2，i在k＝1时是0～8的整数，在k＝2时是0～10的整数。