[发明专利]硅烷化合物、聚硅氧烷以及放射线敏感性树脂组合物无效
| 申请号： | 200480034903.6 | 申请日： | 2004-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN1886410A | 公开（公告）日： | 2006-12-27 |
| 发明（设计）人： | 西村功;山原登;田中正人;下川努 | 申请（专利权）人： | JSR株式会社 |
| 主分类号： | C07F7/18 | 分类号： | C07F7/18;C08G77/14;G03F7/075;G03F7/039;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王健 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅烷 化合物 聚硅氧烷 以及 放射线 敏感性 树脂 组合 | ||
【说明书】：
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