[发明专利]稳固安装的层叠体声谐振器有效

专利信息
申请号: 200480029992.5 申请日: 2004-10-29
公开(公告)号: CN1868119A 公开(公告)日: 2006-11-22
发明(设计)人: J·D·拉森三世;S·L·艾利斯;Y·奥什迈安斯基;P·A·布拉利 申请(专利权)人: 阿瓦戈科技通用IP(新加坡)股份有限公司
主分类号: H03H9/00 分类号: H03H9/00
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 程天正;魏军
地址: 新加坡*** 国省代码: 新加坡;SG
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 一种薄膜体声谐振器FBAR器件(100)包括基底(102)、该基底上方的声布拉格反射器(180)、在该声布拉格反射器上方的压电元件(116)和该压电元件上方的远侧电极(114)。声布拉格反射器包括与塑料布拉格层(184)邻接的金属布拉格层(182)。塑料布拉格层的塑料材料与金属布拉格层的金属的声阻抗之间的大比值提供了FBAR与基底之间的充分的声隔离,使FBAR器件的频率响应即便存在由于FBAR与基底之间不希望的声耦合而引起乱真的假象,也很少。
搜索关键词: 稳固 安装 层叠 谐振器
【主权项】:
1.一种薄膜体声谐振器(FBAR)器件,包括:基底;在基底上方的声布拉格反射器,该声布拉格反射器包括金属布拉格层和与该金属布拉格层邻接的塑料布拉格层;在声布拉格反射器上方的压电元件;和在压电元件上方的远侧电极。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于阿瓦戈科技通用IP(新加坡)股份有限公司,未经阿瓦戈科技通用IP(新加坡)股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200480029992.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。

同类专利
  • 包括环形凸起梁檐结构的声学谐振器、滤波器和电子设备-201811616631.0
  • 杨清瑞;庞慰;张孟伦 - 天津大学;诺思(天津)微系统有限责任公司
  • 2018-12-26 - 2023-10-20 - H03H9/00
  • 本发明涉及通信领域,提供一种包括环形凸起梁檐结构的声学谐振器、滤波器和电子设备,该谐振器包括位置关系依次相连的顶电极、压电层、底电极、声反射结构以及基底;顶电极的边缘具有檐部结构且檐部结构位于声学谐振器的有效区域内,檐部结构与压电层之间具有空气隙;顶电极的边缘还具有梁部结构且梁部结构的其中一部分位于声学谐振器的有效区域内,梁部结构与压电层之间具有空气隙;檐部结构对应的位置具有第一凸起结构,梁部结构对应的位置具有第二凸起结构。本发明与现有技术相比,能够有效的提高声学谐振器的品质因数或并联阻抗。
  • 声波装置、滤波器和多路复用器-201911190557.5
  • 松田隆志;佐藤良夫;石田守 - 太阳诱电株式会社
  • 2019-11-28 - 2023-09-26 - H03H9/00
  • 声波装置、滤波器和多路复用器。一种声波装置包括:压电基板;电极,所述电极将压电基板夹在中间并激发压电基板中的厚度剪切振动;以及边缘区域,该边缘区域是围绕共振区域的中央区域的区域,其中,边缘区域的第一区域在大致平行于厚度剪切振动的位移方向的第一方向上位于中央区域的两侧,边缘区域的第二区域在与第一方向基本垂直的第二方向上位于中央区域的两侧,第二区域的宽度不同于第一区域的宽度,并且压电基板在第一区域和第二区域中的声波的声速小于压电基板在中央区域中的声波的声速。
  • 基于压电薄膜的单端输入多端输出的无源电子回转器-202211459754.4
  • 吴涛;刘康福 - 上海科技大学
  • 2022-11-17 - 2023-03-07 - H03H9/00
  • 本发明涉及一种基于压电薄膜的单端输入多端输出的无源电子回转器,包括横向作用力结构和纵向作用力结构,包括压电薄膜构成的压电层、激励线圈和接收电极、衬底、刻蚀孔;该压电层经由锚点悬挂在衬底上,压电层下方为衬底凹槽构成的空腔;空腔上压电层四周为刻蚀孔;刻蚀孔和空腔用于限定的作用力区域。压电层的材质为的氮化铝、铌酸锂、钽酸锂压电材料中一种或数种,激励线圈和感应电极均为金属,激励线圈在磁电作用下产生的作用力在压电层进行转化,接收电极对机械力转换的电能进行收集。本发明无源电子回转器尺寸与声学滤波器相当,为数十微米至数千微米,实现了微型化;不需要外部供电,非线性效应极低,实现了无源、高度非线性。
  • 具有大带宽的SAW滤波器-201780017876.9
  • T·登格勒;T·鲍尔 - 追踪有限公司
  • 2017-04-05 - 2022-08-02 - H03H9/00
  • 指定具有大带宽的SAW滤波器布置FA,其中第一滤波器(F1)及第二滤波器(F2)并联连接在第一节点(K1)与第二节点(K2)之间。所述第一滤波器(F1)及所述第二滤波器(F2)是经配置为DMS滤波器的两个SAW滤波器配置,并且两者各自包括串联连接的两个DMS轨道(S11、S12;S21、S22)。所述两个滤波器(F1、F2)具有不同的中心频率及一起形成共同通带。所述滤波器布置可包括串联谐振器RS及分流线圈(L1、L2)。
  • 一种体声波谐振器、超窄带滤波器、双工器及多工器-202010084125.2
  • 庞慰;徐利军;柴竹青 - 诺思(天津)微系统有限责任公司
  • 2020-02-10 - 2021-04-16 - H03H9/00
  • 本发明提供一种体声波谐振器、超窄带滤波器、双工器及多工器,利用体声波谐振器特殊的谐振特性,实现超窄带滤波器;该体声波谐振器包括硅衬底、形成在所述硅衬底上的下电极、形成在所述下电极上的二氧化硅温补层、形成在所述二氧化硅温补层上的压电层以及形成在所述压电层上的上电极;该超窄带滤波器包括一个串联支路和多个并联支路,并且所述串联支路包含至少四个上述的体声波谐振器或者电容,串联在该滤波器的输入输出端口之间,每个所述并联支路包含至少一个上述的体声波谐振器。
  • 声波谐振器、滤波器和双工器-201710017784.2
  • 田中旅人 - 太阳诱电株式会社
  • 2017-01-11 - 2020-10-30 - H03H9/00
  • 声波谐振器、滤波器和双工器。一种声波谐振器,包括:设置在压电基板上的梳状电极,每个梳状电极包括激发声波的电极指和连接到电极指的汇流条电极,梳状电极形成了重叠区域,在该重叠区域中,梳状电极中的一个的电极指和另一个的电极指重叠,其中,在梳状电极中重叠的电极指中的每一个包括:设置在所述重叠区域中的第一区域,在该第一区域中声波的速度是第一速度,并且该第一区域在电极指延伸的第一方向上的位置相对于与第一方向交叉的第二方向而变化;以及设置在所述重叠区域中并且在所述第一方向上将所述第一区域夹在中间的多个第二区域,在该多个第二区域中声波的速度是不同于所述第一速度的第二速度。
  • 一种小型灌渠测流设备中的超声波除泥沙振动单元-201922249845.5
  • 耶楠;张欣;丁学岐;梁妙元;喻晓行;张瀚文 - 南京津码智能科技有限公司
  • 2019-12-16 - 2020-09-08 - H03H9/00
  • 本实用新型公开了一种小型灌渠测流设备中的超声波除泥沙振动单元,属于超声波技术领域,包括密封盒、金属盖板和线路板,密封盒设有一个顶口,金属盖板盖在密封盒的顶口上,线路板上设有信号接口电路、电源模块、延迟电路、PWM控制芯片、MOS管电路、漏电保护芯片、变压器电路、匹配电路和超声波换能器,解决了应用在小型灌渠测流设备中的超声波除泥沙振动单元的技术问题,本实用新型用于生产一种适用于小型灌渠测流设备的振动清淤装置,充分发挥小型灌渠测流设备自动泥沙清除系统的效率,使用功率超声波换能器产生超声波,通过金属底板传导和振动,使附着在底板上的泥沙不易沉积、板结、固结,容易被渠道水流和冲刷管路冲洗清除。
  • 一种薄膜体声波谐振器及通信器件-201910261666.5
  • 不公告发明人 - 嘉兴宏蓝电子技术有限公司
  • 2019-04-02 - 2019-07-26 - H03H9/00
  • 本发明公开了一种薄膜体声波谐振器及其通信器件,该谐振器包括衬底,衬底的上表面设有凹槽,凹槽设有边界,衬底上依次设有底电极层、压电层与顶电极层,底电极层与压电层之间设置第一温度补偿层,压电层与顶电极层之间设置第二温度补偿层,压电层面向第一温度补偿层的一侧与面向第二温度补偿层的另一侧分别设置有保护腔,第一温度补偿层与第二温度补偿层分别放置于保护腔中,保护腔的长度延伸出凹槽的边界。上述谐振器通过在压电层靠近温度补偿层的一侧设置保护腔体,并将温度补偿层嵌入保护腔体中,使其端部覆盖较厚的压电材料并发挥保护作用,有效减弱刻蚀液的浸透能力,从而避免温度补偿层被牺牲层刻蚀液侵蚀,确保谐振器的温度稳定性。
  • 角耦接谐振器阵列-201780073619.7
  • 维莱·卡亚卡里 - 株式会社村田制作所
  • 2017-10-27 - 2019-07-16 - H03H9/00
  • 提供了在高频应用中具有改善的电气特性和减小的动态阻抗的MEMS谐振器阵列。MEMS谐振器阵列包括一对第一压电谐振器,所述一对第一压电谐振器彼此相对,所述一对第一压电谐振器之间限定有空间。此外,MEMS谐振器阵列包括一对第二压电谐振器,所述一对第二压电谐振器彼此相对并且分别耦接至第一压电谐振器中的每一个的相应角。照此,第二压电谐振器中的每一个被部分地设置在所述一对第一压电谐振器之间限定的空间中。
  • 一种空气隙型压电体声波器件异质集成方法和该器件-201811605254.0
  • 庞慰;高传海;张孟伦 - 天津大学;诺思(天津)微系统有限责任公司
  • 2018-12-26 - 2019-05-24 - H03H9/00
  • 本发明提供一种空气隙型压电体声波器件异质集成方法,其特征在于,包括:使用软印章将体声波器件薄膜从供体基底上提起;使用软印章将体声波器件放到CMOS电路上方的中间层上,并同时使体声波器件位于中间层的指定位置,指定位置具有空腔,或者指定位置具有支撑结构及牺牲层。该方法运用材料转移印刷技术将可转移体声波器件转移至目标系统平台上,最终形成3D堆叠式集成结构。该方法的优势在于:更低的成本、更高的集成度、更低的操作温度要求以及更短的操作时间。
  • 容性分忆抗元和感性分忆抗元滤波器-201610214170.9
  • 蒲亦非 - 蒲亦非
  • 2016-04-08 - 2018-03-06 - H03H9/00
  • 本发明所提出的容性分忆抗元和感性分忆抗元滤波器实现一种兼具分数阶非线性记忆和预测功能的新型电路元器件。本发明涉及的分数阶阶次v不是传统的正整数,而是正实数,工程应用中一般取分数或有理小数,v=m+p,m是正整数,且0≤p≤1。该滤波器是采用其输入点、分数阶微分器、卷积器、忆阻器、(1‑p)次幂运算器、Laplace逆变换器、乘法器和其输出点以级联方式构成的。该滤波器特别适用于实现一种兼具分数阶非线性记忆和预测功能的新型电路元器件的应用场合。本发明属于电路与系统、现代信号处理和应用数学交叉学科的技术领域。
  • 一种可拆卸振荡器-201720310975.3
  • 陈晓黎 - 上海智科仪器设备有限公司
  • 2017-03-28 - 2017-10-31 - H03H9/00
  • 本实用新型公开了一种可拆卸振荡器,包括振荡器本体,第一中心构件的两端均连接有连接环,第一中心构件的内壁上垂直连接有螺栓座,连接环的内壁上垂直连接有突片,锁定构件的上端面开设有圆槽,圆槽的侧壁上对称连接有L型唇缘,固定圆块的顶部侧壁对称连接凸缘,固定圆块中心处活动连接有螺栓。本可拆卸振荡器,需要将第一振荡装置和第二振荡装置连接时,L型唇缘垂直插入圆环槽内,旋转第二振荡装置至第一振荡装置平行时,则扣板会卡在的凸缘上,第一半柱和第二半柱均为中空结构,其中适宜填充撞击材料,固定环包覆在连接环后通过螺栓固定,方便安装和拆卸的同时可以填充不同的材料达到不同的声音。
  • 基于压电效应的声阻抗匹配装置及方法-201610618968.X
  • 林书玉 - 陕西师范大学
  • 2016-08-01 - 2016-12-07 - H03H9/00
  • 本发明属于超声波换能器技术领域,具体涉及一种基于压电效应的声阻抗匹配装置及方法,所述装置包括背衬层、压电换能器和匹配层,其中,所述匹配层采用压电陶瓷匹配层结构,所述匹配层的两个电极面之间连接有一个数值可改变的电阻抗,所述压电陶瓷匹配层结构为厚度极化的压电陶瓷圆盘,在所述压电陶瓷圆盘的两端面镀有金属银层;本发明中匹配层使用压电陶瓷类材料,利用压电效应,来实现超声波换能器任何负载阻抗的理想匹配,大大降低了传统的声阻抗匹配技术的成本。
  • 微天线设备-200880127188.9
  • D·辛哈 - D·辛哈
  • 2008-11-12 - 2011-02-09 - H03H9/00
  • 本发明关于由压电材料制成的超小天线。通过压电材料传播的无线电信号的波长因为其高介电常数而缩短,并且在各个频率下无线电信号和其机械波模式之间的谐振导致在发射模式和接收模式下的高振幅信号。
  • 包括热控压电谐振器的振荡器装置-201010161780.X
  • J·-M·纳维特 - 微晶公司
  • 2010-03-08 - 2010-11-24 - H03H9/00
  • 一种包括热控压电谐振器的振荡器装置,包括:形成真空腔(23)的气密壳体(1)、压电谐振器元件(11)、振荡电路、温度传感器、以及在具有有源表面(13a)的集成电路芯片(13)中实施的加热单元。压电谐振器元件(11)和振荡电路被连接在一起以形成振荡电路。此外,将温度传感器和加热单元与压电谐振器元件(11)封闭在真空腔(23)中。以IC芯片为所述压电谐振器元件提供机械支撑的方式将所述压电谐振器元件以热传导的方式附接于集成电路芯片(13)的有源表面(13a)。由此使得该装置具有降低的功率消耗及在周围环境温度变化的情形下更稳定的谐振器频率。
  • 一种用于微机械谐振结构的闭环驱动电路-201010191597.4
  • 乔大勇;王玉朝;任森;苑伟政;袁广民;李小卿 - 西北工业大学
  • 2010-06-03 - 2010-10-13 - H03H9/00
  • 本发明公开了一种用于微机械谐振结构的闭环驱动电路,为一种基于限幅电路7、带通滤波器8、自动增益控制环路9和相位补偿电路12为主要组成的交流自动增益控制闭环自激驱动电路。首先,通过自动增益控制环路9调节环路的增益和通过相位补偿电路12调节环路的相位,将增益调节与相位调节分离开来,避免了增益调节与相位调节之间的耦合影响,方便了电路的调试;其次,限幅电路7和带通滤波器8的引入,扩大了电路的线性工作范围,即使I/V转换器5检测到很大的输出信号,也会经过限幅电路7,将信号限制在一定的幅度上,再通过带通滤波器8将杂波信号滤除,使反馈回的驱动信号限制在谐振频率处,避免了电路中引入非线性信号,造成谐振的不稳定。
  • 一种YIG谐振子、YIG振荡器及其制作方法-201010165506.X
  • 陈劲松;蓝江河;张菊艳;杨星星 - 中国电子科技集团公司第九研究所
  • 2010-05-07 - 2010-09-22 - H03H9/00
  • 本发明公开了一种YIG谐振子、YIG振荡器及其制作方法,所述YIG谐振子包括耦合环和布置于所述耦合环中的YIG单晶,其中,所述耦合环为通过低温共烧铁氧体工艺按预设的耦合类型布置于多层陶瓷基板中的耦合环;所述YIG单晶镶嵌于所述耦合环中,并通过低温共烧陶瓷工艺与所述耦合环烧结为一体。本发明提供的YIG谐振子克服了耦合环手工绕制产生的一致性差、精确性差等缺陷,保证了耦合环制作的一致性、精确性。
  • 声表面波器件-200910226586.2
  • 藤井裕久;高峰裕一 - 株式会社村田制作所
  • 2005-07-12 - 2010-04-28 - H03H9/00
  • 一种能改进特性的声表面波器件。所述声表面波器件包括衬底(1010)、包含非平衡端子(1051)和平衡端子(1052和1053)的多个端子(1051-1055)、以及位于非平衡端子(1051)和两个平衡端子(1052和1053)之间的至少一个声表面波元件(1020、1030)。通过绝缘膜(1014、1016)使与相同声表面波元件(1020)相连的不同信号线(1048、1041、1042)相交。
  • 声波装置和系统-200910171566.X
  • 黑田泰史;森谷亮 - 富士通媒体部品株式会社
  • 2009-09-01 - 2010-03-10 - H03H9/00
  • 一种声波装置,其包括:压电基片;至少五个叉指换能器,所述五个叉指换能器沿声表面波传播方向布置在所述基片上;以及两个平衡端子,所述两个平衡端子连接到作为所述至少五个叉指换能器中的两个、并且相位彼此相差180度的两个第一叉指换能器上。所述两个第一叉指换能器中的一个第一叉指换能器的一对梳状电极中的一个梳状电极连接到一个平衡端子上,并且另一个第一叉指换能器的一对梳状电极中的一个梳状电极连接到另一个平衡端子上。所述两个第一叉指换能器的其他梳状电极彼此串联;并且形成“包括在所述至少五个叉指换能器中、并且不连接到所述两个第一叉指换能器上的”叉指换能器的一对梳状电极中的一个梳状电极是接地的。
  • 恒温晶体振荡器用印刷电路板-200920070993.4
  • 杨勇;姜伟伟;李昕;黄然 - 上海鸿晔电子科技有限公司
  • 2009-04-23 - 2010-02-10 - H03H9/00
  • 本实用新型公开一种恒温晶体振荡器用印刷电路板,包括:具有预定谐振频率的振荡电路;方波产生电路;正弦波产生电路;和除频产生电路,其中,所述振荡电路具有与方波产生电路的输入端对应的输出端,与正弦波产生电路的输入端对应的输出端和与除频产生电路的输入端对应的输出端,三对输入、输出端并联排列,并且所述印刷电路板还配备有将任一对输入、输出端连接在一起的跳线连接器。与现有技术相比,由于印刷电路板上同时集成有三种不同的输出电路,并且通过跳线连接器来方便地进行选择连接,因此,本实用新型具有能够输出三种不同输出信号,而且跳接方便,制造简单、制造成本低的优点。
  • 磁电谐振换能器件-200810038145.5
  • 罗豪甦;贾艳敏;王飞飞;赵祥永;焦杰;徐海清;林迪;潘晓明 - 中国科学院上海硅酸盐研究所
  • 2008-05-28 - 2008-10-15 - H03H9/00
  • 本发明涉及一种磁电谐振换能器。在换能领域,该换能器能高效的实现磁量到电能的转换,属于电工器件领域。本发明包括压电材料(1、3、4),磁致伸缩材料(2),导线(5)为用于连接压电材料1和4,6为导线(6)为用于连接3和4,电压输出端(7)连接压电材料3和4,公共地端(8)连接压电材料7和1。压电材料(1)、磁致伸缩材料(2)和压电材料(3)三层材料之间用导电胶粘接,三层材料的厚度比例优化为1∶0.5~0.8∶1。本发明能精确的实现磁场强度量向电压量的转换,在谐振频率下,磁电系数高达57.3V/Oe。
  • 声表面波器件以及使用该声表面波器件的双工机和通信器件-200810090204.3
  • 船见雅之;竹之下健;横田裕子 - 京都陶瓷株式会社
  • 2008-03-28 - 2008-10-01 - H03H9/00
  • 一种声表面波器件以及使用该声表面波器件的双工机和通信器件,该声表面波器件包括:形成梯形滤波器电路的第一声表面波滤波器;以及通带所在的频率比所述第一声表面波滤波器的通带高的第二声表面波滤波器。这里,所述第一声表面波滤波器包括:至少一个具有IDT电极的串联臂声表面波谐振器,其连接到所述梯形滤波器电路的串联臂;具有IDT电极的并联臂声表面波谐振器,其连接到所述梯形滤波器电路的并联臂;以及具有IDT电极的附加的声表面波谐振器,其与所述串联臂声表面波谐振器并联连接并且谐振频率比所述第二声表面波滤波器的通带的频率高。
专利分类
×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top