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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]谐振器以及谐振装置-CN201880041488.9有效
发明人：西村俊雄;维莱·卡亚卡里 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2018-03-08 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： H03H9/24 文献下载
摘要：本发明涉及谐振器以及谐振装置，能够在任意的长宽比提高限制性。谐振器具备：振动部，具有基板和一个以上的电极，基板具有由宽度方向以及长度方向确定的主面，电极形成在遍及基板的主面中的至少长度方向的大致整个区域的区域，振动部根据对电极施加的电压，进行以沿着宽度方向的振动为主振动的伸缩振动；保持部，被设置成包围振动部的至少一部分；以及保持臂，将振动部和保持部连接，振动部具有位于长度方向的端部的宽度方向的宽度(Wo)，并且具有至少一处以上的异形部，异形部在宽度方向上形成为凹状或者凸状，以便具有位于长度方向上的对置的一对端部之间的、与宽度(Wo)不同的宽度(Wm)。
谐振器以及谐振装置

[发明专利]具有缩小尺寸的微机械谐振器-CN201880076077.3有效
发明人： 维莱·卡亚卡里 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2018-09-17 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： H03H9/10 文献下载
摘要：提供了一种微机械谐振器，该微机械谐振器能够实现较小的总体封装尺寸并具有用于定时应用的可接受的质量因数。该MEMS谐振器包括振动部分，该振动部分具有基部和从基部延伸的三个或更多个振动梁。此外，该MEMS谐振器包括框架和一对锚固件，该框架围绕振动部分的周缘，所述一对锚固件位于振动梁之间以用于将振动部分稳定在框架内。此外，支承梁将振动部分的基部联接至所述一对锚固件。
具有缩小尺寸微机谐振器

[发明专利]谐振子和谐振装置-CN201880077004.6有效
发明人：广田和香奈;西村俊雄;维莱·卡亚卡里 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2018-07-27 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： H03H9/24 文献下载
摘要：在并联连接的压电谐振子中，抑制由杂散电容引起的特性降低。具备：基板；绝缘膜，其形成在基板上；多个振动区域，其为形成在绝缘膜上的多个振动区域，且各振动区域具有形成在绝缘膜上的下部电极、形成在下部电极上的压电膜和形成在压电膜上的上部电极，使形成在绝缘膜上的多个下部电极中的至少一个下部电极成为与其他下部电极不同的电位，以使得至少一个振动区域与其他振动区域反相振动；以及封装，其为对具有基板、绝缘膜、多个振动区域的谐振子进行密封的封装，且具有使基板接地的接地用端子。
谐振子谐振装置

[发明专利]谐振器以及谐振装置-CN201880037723.5有效
发明人：河合良太;维莱·卡亚卡里 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2018-02-26 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： H03H3/04 文献下载
摘要：本发明提供更简便且高精度的频率调整方法。是具备具有根据施加给电极的电压进行振动的振动部的谐振器的谐振装置的制造方法，包含：在振动部中的与其它的区域相比由振动引起的位移较大的区域形成由氧化钼构成的调整膜的工序；以及通过激光除去调整膜中至少一部分来调整上述谐振器的频率的工序。
谐振器以及谐振装置

[发明专利]烘箱控制MEMS振荡器-CN201780032549.0有效
发明人： 维莱·卡亚卡里 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2017-01-25 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：一种烘箱控制MEMS定时设备，包括非常小的可以用非常低的功率非常快速地加热的振荡器。MEMS设备包括矩形框架、位于框架中的加热平台以及从矩形框架延伸并将平台保持在框架的腔内以热隔离平台的一对支撑梁。此外，设备包括通过一对锚梁附接至平台的谐振器、对平台进行加热以维持谐振器的目标温度的加热器以及测量平台的温度以为加热器提供控制回路的热敏电阻。
烘箱控制 mems 振荡器

[发明专利]换能器-CN202180052411.3在审
发明人：梅泽青司;池内伸介;铃木胜之;马蒂·硫克;维勒佩卡·利特克内;安西·布洛姆奎斯特;维莱·卡亚卡里 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H04R17/00 文献下载
摘要：第一连接部(130a)将第一前端部(122a)和第二前端部(122b)相互连接。第一连接部(130a)被连结第一前端部(122a)的中央(122ac)和基部的中央以及第二前端部(122b)的中央的分割狭缝(142)、第一前端部(122a)、第二前端部(122b)包围。
换能器

[发明专利]具有抑制的寄生模式的MEMS谐振器-CN201780073620.X有效
发明人： 维莱·卡亚卡里 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2017-10-27 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：提供了具有改善的电气特性和减少的寄生谐振的MEMS谐振器。MEMS谐振器包括两个或更多个第一矩形谐振器板，其中长度大于其各自的宽度。此外，MEMS谐振器包括被定位成沿MEMS谐振器的横向方向与第一谐振器板平行的两个或更多个第二矩形谐振器板。第二谐振器板的长度不同于第一谐振器板的长度，以减少寄生谐振。
具有抑制寄生模式 mems 谐振器

[发明专利]压电装置-CN202180029560.8在审
发明人：梅泽青司;池内伸介;铃木胜之;马蒂·硫克;维勒佩卡·利特克内;安西·布洛姆奎斯特;维莱·卡亚卡里 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2021-01-25 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： H01L41/04 文献下载
摘要：连接部(130)以在一对梁部(120)之间折回的方式设置。连接部(130)包含第1连结部、第2连结部以及架桥部。第1连结部沿着狭缝延伸且与一对梁部(120)中的一个连接。第2连结部沿着狭缝延伸且与一对梁部(120)中的另一个连接。架桥部位于狭缝与开口部之间且与第1连结部和第2连结部分别连接。多个梁部(120)分别位于被在相互交叉的方向上延伸的狭缝夹着的位置，并且经由连接部(130)在环状的基部(110)的周向上相互连接。
压电装置

[发明专利]谐振子以及谐振装置-CN202080099331.9在审
发明人： 维莱·卡亚卡里;河合良太;樋口敬之 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2020-11-11 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： H03H9/24 文献下载
摘要：本发明提供能够进一步改善DLD的谐振子以及谐振装置。谐振子(10)具备：振动部(110)，包括多个振动臂和基部，上述多个振动臂(121A)～(121D)为三根以上且分别具有固定端，至少两根以不同的相位进行面外弯曲，上述基部(130)具有供多个振动臂(121A)～(121D)各自的固定端连接的前端部(131A)和与前端部(131A)对置的后端部(131B)；保持部(140)，构成为保持振动部(110)；以及支承臂(151A)，一端与保持部(140)连接，另一端与基部(130)的后端部(131B)连接，支承臂(151A)在俯视时关于振动部(110)中的长边方向的中心线(CL1)非对称。
谐振子以及谐振装置

[发明专利]谐振装置-CN202080033645.9在审
发明人：井上义久;维莱·卡亚卡里;河合良太 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2020-02-03 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： H03H9/24 文献下载
摘要：本发明提供一种谐振装置，其降低了施加于支承臂与保持部的连接部分的应力。谐振装置具备：谐振器，包括基部、从该基部的一端沿着第一方向延伸的振动臂、配置于振动臂的周围的至少一部分并将振动臂保持为能够振动的保持部、以及将基部与保持部连接的支承臂；和第一基板，包括形成谐振器的振动空间的至少一部分的第一凹部、以及在厚度方向上与支承臂空开第一距离地设置的第一限制部，第一距离小于在第一基板的厚度方向上第一凹部的底面与振动臂之间的距离。
谐振装置

[发明专利]谐振器以及谐振装置-CN201980094259.8在审
发明人：西村俊雄;维莱·卡亚卡里 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2019-12-12 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： H03H9/24 文献下载
摘要：本发明提供一种谐振器以及谐振装置，提高振动的限制性。谐振器(10)具备：振动部(120)，包括Si基板(F2)、形成于Si基板(F2)的一个主面的金属层(E1)、以及配置于Si基板(F2)与金属层(E1)之间的压电薄膜(F3)，振动部(120)以轮廓振动为主振动而振动；保持部(140)，形成为包围振动部(120)的至少一部分；以及支承单元(110)，连接振动部(120)和保持部(140)，振动部(120)具有在一个主面去除压电薄膜(F3)而成的凹部(121)。
谐振器以及谐振装置

[发明专利]谐振子以及谐振装置-CN201680051018.1有效
发明人：西村俊雄;维莱·卡亚卡里 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2016-06-22 - 公布日： 2021-09-17 - 主分类号： H03H9/05 文献下载
摘要：在谐振子中，通过减少锚定损耗而提高Q值。谐振子具备：压电振动部、设置于压电振动部的周围的至少局部的保持部、位于压电振动部与保持部之间的第一节点生成部、连接第一节点生成部与压电振动部的和第一节点生成部对置的区域的第一连接臂、以及连接第一节点生成部与保持部的和第一节点生成部对置的区域的第一保持臂，第一节点生成部相对于沿着第一连接臂连接第一节点生成部与压电振动部的第一方向以及与第一方向正交的第二方向、且通过第一节点生成部的中心的两条线的每一个呈大致对称的形状。
谐振子以及谐振装置

[发明专利]谐振子以及谐振装置-CN201680056495.7有效
发明人：广田和香奈;维莱·卡亚卡里 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2016-08-16 - 公布日： 2021-08-17 - 主分类号： H03H9/24 文献下载
摘要：在谐振子中，抑制谐振频率的偏移。具备：振动部，其具有基部、和一端与基部连接的多个振动臂；保持部，其设在振动部的周围的至少一部分；以及保持臂，其设在振动部与保持部之间，一端与基部中的隔着基部与和振动臂连接的前端对置的后端连接，另一端与保持部连接，保持臂具有：一对第一支臂，各自的一端在后端与基部连接；以及连结部，其将一对第一支臂连结并与保持部连接。
谐振子以及谐振装置

[发明专利]谐振子和谐振装置-CN201680050205.8有效
发明人：西村俊雄;维莱·卡亚卡里 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2016-06-22 - 公布日： 2021-03-02 - 主分类号： H03H9/05 文献下载
摘要：本发明提供谐振子和谐振装置。谐振子能够通过减小锚点损耗来提高Q值。谐振子具备：压电振动部；保持部，其设置于压电振动部的周围的至少局部；第一节点生成部，其设置于压电振动部与保持部之间；第一连接臂，其连接第一节点生成部和压电振动部的与该第一节点生成部对置的区域；以及第一保持臂，其连接第一节点生成部和保持部中的与第一节点生成部对置的区域，第一节点生成部在比在第一连接臂连接第一节点生成部和压电振动部的第一方向上的中心靠第一连接臂侧处，具有在与第一方向正交的第二方向上的长度为最大的部位，随着从第二方向上的长度为最大的部位趋向第一保持臂，第二方向上的长度缓缓变小。
谐振子谐振装置

[发明专利]具有高品质因数的MEMS谐振器-CN201680025459.4有效
发明人： 维莱·卡亚卡里 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2016-05-24 - 公布日： 2020-10-09 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：公开了一种具有高品质因数的对称MEMS谐振器。该MEMS谐振器包括具有顶表面和与顶表面相对的底表面的硅层。一对第一金属层设置在硅层的顶表面上方，并且对应的一对第二金属层相对于一对第一金属层对称地设置在硅层的第二表面下方。此外，第一压电层布置在一对第一金属层之间，并且第二压电层布置在一对第二金属层之间。
具有品质因数 mems 谐振器

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