[发明专利]半导体测试装置及其控制方法无效
| 申请号： | 200480016976.2 | 申请日： | 2004-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN1809896A | 公开（公告）日： | 2006-07-26 |
| 发明（设计）人： | 佐藤和彦;明世范;千叶浩幸 | 申请（专利权）人： | 爱德万测试株式会社 |
| 主分类号： | G11C29/00 | 分类号： | G11C29/00;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供半导体测试装置，此装置具有第1波形生成单元，生成与各个多数的半导体元件共通的共通资讯相对应的共通图案波形；第2波形生成单元，生成与各个多数的半导体元件对应，与个别准备的多数个别资讯对应的个别图案波形；波形切换单元，有选择地进行向各个多数的半导体元件共通输入第1波形生成单元所生成的上述共通图案波形的操作、与个别输入各个多数的第2波形生成单元所生成的上述个别图案波形的操作。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 测试 装置 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
1、一种半导体测试装置，其特征在于其包括：第1波形生成单元，生成与各个多数的半导体装置共通的共通资讯相对应的共通图案波形；多数个第2波形生成单元，生成与上述各个多数的半导体元件对应且与个别准备的多数个别资讯对应的个别图案波形；以及波形切换单元，向上述各个多数的半导体元件，选择性地进行共通输入动作与个别输入动作，其中该共通输入动作是共通地输入上述的第1波形生成单元所生成的上述共通图案波形，且该个别输入动作是个别地输入上述各个多数的第2波形生成单元所生成的上述个别图案波形。
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