[发明专利]将吸气器固定于微机电系统装置外壳内的方法和设备无效
| 申请号： | 200480013087.0 | 申请日： | 2004-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN1788346A | 公开（公告）日： | 2006-06-14 |
| 发明（设计）人： | H·L·库蒂斯;L·A·杜纳维;J·B·塔坎普;M·C·格伦恩 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | H01L23/26 | 分类号： | H01L23/26;B81B7/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 胡强 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明介绍了一种可减少微机电系统(MEMS)装置(200)内产生松散吸气材料微粒的方法。这种MEMS装置包括安置在基本密封的空腔(224)内的微电机件(108)，所述空腔由外壳(102)和所述外壳的盖子形成。空腔可容纳安装在吸气器基片(222)上的吸气器(220)，吸气器基片固定在盖子上。这种方法包括提供位于部分盖子和部分吸气器基片之间的区域(212)，将吸气器布置在该区域，然后将吸气器基片固定到盖子上。 | ||
| 搜索关键词： | 吸气 固定 微机 系统 装置 外壳 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种减少微机电系统(MEMS)装置(200)内产生松散吸气材料微粒的方法，所述装置包括安置在基本密封的空腔(224)内的微电机件(108)，所述空腔由外壳(102)和所述外壳的盖子(202)形成，所述空腔容纳安装在吸气器基片(222)上的吸气器(220)，所述吸气器基片固定到所述盖子上，所述方法包括以下步骤：提供位于部分所述盖子和部分所述吸气器基片之间的区域(212)；将所述吸气器布置在所述区域；和将所述吸气器基片固定到所述盖子上。
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