[发明专利]移送装置和半导体处理系统

摘要

半导体处理系统中的移送装置(17)包括能够分别在相互平行的有第一和第二垂直平面上移动的第一和第二支持部的第一和第二动作机构(9A、9B)。按照通过第一和第二动作机构以水平状态移动的方式由第一和第二支持部支持第一和第二移动台(18A、18B)。在第一和第二移动台上，分别配置着接收被处理基板(W)的能够伸缩的第一和第二搬运机构(19A、19B)。控制部(20)使第一和第二移动台互不干涉地控制第一和第二动作机构的动作。

主权项

1.一种装置，用于半导体处理系统中，其特征在于，具备：有分别能够在公共空间内相互平行的第一和第二垂直平面上移动的第一和第二支持部的第一和第二动作机构；在所述公共空间中，靠所述第一和第二动作机构以水平状态移动地支持于所述第一和第二支持部的第一和第二移动台，所述第一和第二移动台分别从所述第一和第二支持部跨越所述第一和第二垂直平面间的中心的垂直平面向所述第二和第一垂直平面延伸设置；分别设在所述第一和第二移动台上的、受理被处理基板的能够伸缩的第一和第二搬运机构；以及在所述公共空间内，使所述第一和第二移动台互不干涉地控制所述第一和第二动作机构的动作的控制部。