[发明专利]MEMS薄膜磁学特性在线测试结构无效
| 申请号： | 200410098765.X | 申请日： | 2004-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN1790046A | 公开（公告）日： | 2006-06-21 |
| 发明（设计）人： | 刘林生;刘肃;丰家峰;韩秀峰;黄庆安;李伟华 | 申请（专利权）人： | 刘林生 |
| 主分类号： | G01R33/12 | 分类号： | G01R33/12;G01N27/72 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 730000甘肃*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 一个MEMS薄膜磁性在线测试结构，由一组励磁线圈和一组感应线圈组成。这两组线圈由光刻技术形成于和待测样品薄膜同一条件下生长的陪管单元上。在励磁线圈上加电压(或电流)将中间的陪管单元磁化，感应线圈会产生感应电流(或电动势)。励磁线圈和感应线圈的电流(或电压)为磁场的度量。 | ||
| 搜索关键词： | mems 薄膜 磁学 特性 在线 测试 结构 | ||
【主权项】：
1.一个MEMS薄膜磁性在线测试结构，包括：一个片基；在该片基上形成的绕陪管单元的一组感应线圈和一组励磁线圈，以及它们之间的绝缘层。
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