[发明专利]一种薄膜微桥结构及其制作方法无效
| 申请号： | 200410061385.9 | 申请日： | 2004-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN1623887A | 公开（公告）日： | 2005-06-08 |
| 发明（设计）人： | 黄光;王宏臣;陈四海;何少伟;付小朝;易新建;马宏 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C1/00;G01J5/20 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 | 代理人： | 曹葆青 |
| 地址： | 430074湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜微桥结构及其制作方法。其桥腿与桥面采用氧化硅和氮化硅复合薄膜制成，均位于同一平面内，桥腿的一端与桥面相连，另一端架在金属桥墩上，桥面由桥腿和桥墩支撑悬浮在衬底上，桥面与衬底之间构成空腔。其步骤包括：在衬底表面旋涂光敏聚酰亚胺薄膜，再进行光刻处理，形成孤岛和桥墩孔，再进行亚胺化处理；用金属填充桥墩孔；再在孤岛和金属桥墩上依次沉积氧化硅和氮化硅薄膜，形成复合薄膜层；在复合薄膜层上光刻出微桥结构图形，刻蚀至聚酰亚胺薄膜层，形成桥面和桥腿图形，并去除桥面和桥腿图形底部的聚酰亚胺薄膜，形成微桥结构。本发明解决了由于桥腿弯曲而导致的应力集中问题，并获得了具有较低应力的复合薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 结构 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1、一种薄膜微桥结构，其特征在于：桥腿(2、3)与桥面(1)采用氧化硅和氮化硅复合薄膜制成，均位于同一平面内，桥腿(2、3)的一端与桥面(1)相连，另一端架在金属桥墩(4、5)上，桥面(1)由桥腿(2、3)和桥墩(4、5)支撑悬浮在衬底(7)上，桥面(1)与衬底(7)之间构成空腔(6)。
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