[发明专利]反射式金属光栅的制作方法无效
| 申请号： | 200410009488.0 | 申请日： | 2004-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN1740827A | 公开（公告）日： | 2006-03-01 |
| 发明（设计）人： | 周翠花;余光清;李代学;代冬军;岳永坚 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G02B5/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人： | 刘秀娟;成金玉 |
| 地址： | 610209*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 反射式金属光栅的制作方法，其特征在于用光化学方法直接对精密加工的金属基板进行腐蚀，腐蚀后形成的无光泽线条作为光栅暗条纹，未被腐蚀的金属基板作为光栅亮条纹，具体制作步骤为：先对金属基板光栅面进行精密加工，然后在精密加工后的表面上涂上均匀厚度的光刻胶，前烘去除光刻胶中的稀释剂后在基板上放置光栅母板并进行曝光，再用显影液进行离心显影，烘烤坚膜后在FeCl3腐蚀液中腐蚀成形，最后清洁光栅表面(去胶)。用该方法制作的反射式金属光栅，结构简单、成本低、强度高、线条牢固度好。 | ||
| 搜索关键词： | 反射 金属 光栅 制作方法 | ||
【主权项】：
1、一种反射式金属光栅的制作方法，包括长、圆光栅，其特征在于：用光化学方法直接对精密加工的金属基板进行腐蚀，腐蚀后形成的无光泽线条作为光栅暗条纹，未被腐蚀的金属基板作为光栅亮条纹，具体制作方法如下：先对金属基板光栅面进行精密加工，然后在精密加工后的表面上涂上均匀厚度的光刻胶，前烘去除光刻胶中的稀释剂后在基板上放置光栅母板并进行曝光，再用显影液液进行离心显影，坚膜后在FeCl3腐蚀液中腐蚀，最后清洁基板表面。
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