[发明专利]图形检查方法和图形检查装置有效
| 申请号： | 200310124325.2 | 申请日： | 2003-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN1512169A | 公开（公告）日： | 2004-07-14 |
| 发明（设计）人： | 土屋英雄;加藤芳秀;松木一人;真田恭;小川力;永尾拓朗 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王以平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的图形检查方法和装置不修正外观上的图象像素的位置地，在小块－小块比较方式下进行比较。在小块－小块比较方式中，在从芯片(A’)取得图象时，使芯片(A’)中的图形和上述像素的关系与芯片(A)中的图形和上述像素的关系一致。 | ||
| 搜索关键词： | 图形 检查 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种图形检查方法，是具有以下步骤的图形检查方法：针对排列在一个方向上的被检查实验材料的形成在一个方向上的第1和第2检查区域，使在与一个方向垂直的方向上排列了多个像素的摄像装置相对地在上述一个方向上连续扫描的步骤；在上述扫描中从上述摄像装置取得第1检查区域的图象，取得第1测量图形的步骤；在结束了取得第1测量图形后的上述扫描中，从上述摄像装置取得上述第2检查区域的图象，取得第2测量图形的步骤；比较第1测量图形和第2测量图形，判断形成在上述被检查实验材料上的图形有无缺陷的步骤，其特征在于：在从第2检查区域取得图象时，使第2检查区域中的图形与上述摄像装置的像素的关系和第1检查区域中的图形与上述摄像装置的像素的关系一致。
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