[发明专利]树脂组合物、树脂组合物制备方法及树脂膜的形成方法有效
| 申请号： | 02808732.1 | 申请日： | 2002-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN1503927A | 公开（公告）日： | 2004-06-09 |
| 发明（设计）人： | 野村麻美子;长谷川匡俊;石井淳一;赤松正 | 申请（专利权）人： | 索尼化学株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/037 | 分类号： | G03F7/037;G03F7/022;C08L79/08;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 钟守期;庞立志 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的树脂组合物是含有聚酰亚胺前体和感光剂，该聚酰亚胺前体具有下述式(1)所示聚合结构单元，式(1)中的A1是4价的有机基团、A2是具有脂环族结构的2价有机基团，所以在较宽的波长范围内，具有优异的透光性。同时，该聚酰亚胺前体在7.5％以上、36％以下的范围内实现部分酰亚胺化，所以对显影液的溶解性很低，未曝光部分不溶解于显影液。 | ||
| 搜索关键词： | 树脂 组合 制备 方法 形成 | ||
【主权项】：
1.树脂组合物，它是具有经酰亚胺化的聚酰亚胺前体和感光剂、前述聚酰亚胺前体具有下述式(1)所示聚合结构单元的树脂组合物，其中前述聚酰亚胺前体的酰亚胺化率为7.5％以上、36％以下。![]()
......式(1)(上述式(1)中的A1所示化学结构包括芳香族化合物，A2所示化学结构包括脂环族化合物。)
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