[发明专利]树脂组合物、树脂组合物制备方法及树脂膜的形成方法有效
申请号: | 02808732.1 | 申请日: | 2002-04-17 |
公开(公告)号: | CN1503927A | 公开(公告)日: | 2004-06-09 |
发明(设计)人: | 野村麻美子;长谷川匡俊;石井淳一;赤松正 | 申请(专利权)人: | 索尼化学株式会社 |
主分类号: | G03F7/037 | 分类号: | G03F7/037;G03F7/022;C08L79/08;H01L21/027 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 钟守期;庞立志 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 树脂 组合 制备 方法 形成 | ||
【说明书】:
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