[发明专利]外延生长用气体的供给装置

摘要

公开了一种外延生长用气体的供给装置。在气化器19中将液体原料加热至该液体的沸点以上的温度以使其气化，将气化的原料气与载气在混合器43中按预定的浓度混合，将该混合气在其露点以上的温度下加热保温，同时调节该温合气的流量，然后在将该混合气加热保温在其露点以上温度的条件下供入外延生长用反应炉51中。在气化器内将加热介质的温度保持恒定以使液体原料气化，根据气化器内的气压来调节供入气化器内的液体原料的供给量，这样能够将气化器的液位经常地保持恒定。

主权项

1.一种外延生长用气体的供给装置，该装置具有：用于将液体原料(20)在上述液体的沸点以上的温度下加热以使其气化的气化器(19)、用于把被上述气化器(19)气化而形成的原料气控制在预定质量流量的第1质量流量控制器(36)、用于将载气控制在预定质量流量的第2质量流量控制器(41)、用于把分别控制在预定质量流量的上述原料气和上述载气相混合的混合器(43)、用于调节上述原料气与上述载气二者的混合气流量的第1流量调节阀(48)、用于将上述已调节好流量的混合气供入外延生长用反应炉(51)中的管路(49)、用于在气化器(19)的原料气输出用管路(25)至上述管路(49)之间将原料气和混合气在其露点以上的温度下加热保温的装置(53)。