[发明专利]化学增强型正光刻胶组合物和锍盐

摘要

本发明公开了一种化学增强型正光刻胶组合物,其提供了具有显著改善了线边缘粗糙度的光刻胶图案,并且其各种光刻胶性能如耐干蚀刻性、灵敏度和分辨力均优良,其包括(A)一种酸发生剂,含有锍盐和至少一种鎓盐;(B)一种树脂,该树脂包括具有对酸不稳定的基团的聚合单元,并且其本身不溶或微溶于碱,但通过酸的作用变为可溶于碱。该组合物适宜于KrF受激准分子激光、ArF受激准分子激光下的平版印刷,从而可得到高性能的光刻胶图案。

主权项

1.一种化学增强型正光刻胶树脂组合物，其特征为：包括：(A)一种酸发生剂，含有(a)由下式(I)表示的锍盐，其中每一个Q1和Q2独立表示1至6个碳原子的直链或支链烷基或3至10个碳原子的环烷基，或Q1和Q2与相邻的硫原子一起形成可含有一个氧原子或硫原子的杂环基；Q3表示氢原子，Q4表示1至6个碳原子的直链或支链烷基或3至10个碳原子的环烷基，或Q3和Q4与其相邻的CHC(O)基一起形成2-氧代环烷基；Q5SO3-表示有机磺酸根离子，条件是当Q5表示具有1至8个碳原子的全氟烷基时，排除Q1表示1至6个碳原子的直链或支链烷基，Q2表示1至6个碳原子的直链或支链烷基或3至10个碳原子的环烷基，和Q3和Q4与其相邻的CHC(O)基一起形成2-氧代环烷基的情形；和(b)至少一种鎓盐，选自：由下式(IIa)表示的三苯基锍盐和由下式(IIb)表示的二苯基碘鎓盐其中P1-P5各自独立表示氢原子、羟基、1至6个碳原子的烷基或1至6个碳原子的烷氧基，P6SO3-和P7SO3-各自表示有机磺酸根离子，p和q表示1至8的整数；和(B)一种树脂，该树脂包括具有对酸不稳定的基团的聚合单元，并且其本身不溶或微溶于碱，但通过酸的作用变为可溶于碱。