[发明专利]化学增强型正光刻胶组合物和锍盐

权利要求书

1.一种化学增强型正光刻胶树脂组合物，其特征为：包括：(A)一种酸发生剂，含有(a)由下式(I)表示的锍盐，

其中每一个Q¹和Q²独立表示1至6个碳原子的直链或支链烷基或3至10个碳原子的环烷基，或Q¹和Q²与相邻的硫原子一起形成可含有一个氧原子或硫原子的杂环基；Q³表示氢原子，Q⁴表示1至6个碳原子的直链或支链烷基或3至10个碳原子的环烷基，或Q³和Q⁴与其相邻的CHC(O)基一起形成2-氧代环烷基；Q⁵SO₃^-表示有机磺酸根离子，条件是当Q⁵表示具有1至8个碳原子的全氟烷基时，排除Q¹表示1至6个碳原子的直链或支链烷基，Q²表示1至6个碳原子的直链或支链烷基或3至10个碳原子的环烷基，和Q³和Q⁴与其相邻的CHC(O)基一起形成2-氧代环烷基的情形；和

(b)至少一种鎓盐，选自：由下式(IIa)表示的三苯基锍盐和由下式(IIb)表示的二苯基碘鎓盐

其中P¹-P⁵各自独立表示氢原子、羟基、1至6个碳原子的烷基或1至6个碳原子的烷氧基，P⁶SO₃^-和P⁷SO₃^-各自表示有机磺酸根离子，p和q表示1至8的整数；和

(B)一种树脂，该树脂包括具有对酸不稳定的基团的聚合单元，并且其本身不溶或微溶于碱，但通过酸的作用变为可溶于碱。

2.如权利要求1所述的化学增强型正光刻胶树脂组合物，其特征为：Q¹和Q²与其相邻的硫原子一起形成杂脂环基。

3.如权利要求1所述的化学增强型正光刻胶树脂组合物，其特征为：Q³、P⁶和P⁷各自独立表示1至8个碳原子的全氟烷基、1至8个碳原子的烷基，或6-12个碳原子的芳香基或樟脑基。

4.如权利要求1所述的化学增强型正光刻胶树脂组合物，其特征为：式(I)表示的脂族锍盐与选自式(IIa)的三苯基锍盐和式(IIb)的二苯基碘鎓盐的鎓盐的比例约为9∶1-1∶9。

5.如权利要求1所述的化学增强型正光刻胶树脂组合物，其特征为：以总树脂量计，该树脂含有10-80％mol的具有对酸不稳定基的聚合单元。

6.如权利要求1所述的化学增强型正光刻胶树脂组合物，其特征为：该具有对酸不稳定基团的聚合单元是(甲基)丙烯酸2-烷基-2-金刚烷基酯聚合单元或(甲基)丙烯酸1-金刚烷基-1-烷基烷基酯聚合单元。

7.如权利要求1所述的化学增强型正光刻胶树脂组合物，其特征为：(B)树脂还包括至少一种选自下列的聚合单元：对羟基苯乙烯的聚合单元、间羟基苯乙烯的聚合单元、(甲基)丙烯酸3-羟基-1-金刚烷基酯的聚合单元、(甲基)丙烯酸3，5-羟基-1-金刚烷基酯的聚合单元、其中丁内酯可被烷基取代的(甲基)丙烯酰氧基-γ-丁内酯的聚合单元、每一个用下式(IIIa)和(IIIb)表示的脂环内酯的聚合单元：

其中R¹和R²独立表示氢或甲基，n表示1-3的一个数。

8.如权利要求7所述的化学增强型正光刻胶树脂组合物，其特征为：该树脂还包括2-降冰片烯的聚合单元和脂族不饱和二羧酸酐的聚合单元。

9.如权利要求1所述的化学增强型正光刻胶树脂组合物，其特征为：还含有胺作为淬灭剂。

10.由式(Ia)表示的锍盐：

其中Q⁶表示1至8个碳原子的全氟烷基、1至8个碳原子的烷基、6-12个碳原子的芳香基或樟脑基；当Q⁶表示1至8个碳原子的全氟烷基时，Q¹和Q²各自独立表示1至6个碳原子的直链或支链烷基或3至10个碳原子的环烷基，或Q¹和Q²与相邻的硫原子一起形成可还含有一个氧原子或硫原子的杂脂环基；Q³表示氢原子，Q⁴表示1至6个碳原子的直链或支链烷基或3至10个碳原子的环烷基；当Q⁶表示1至8个碳原子的烷基、6-12个碳原子的芳香基或樟脑基时，Q¹和Q²各自独立表示1至6个碳原子的直链或支链烷基或3至10个碳原子的环烷基，或Q¹和Q²与相邻的硫原子一起形成可还含有一个氧原子或硫原子的杂脂环基；Q³表示氢原子，Q⁴表示1至6个碳原子的直链或支链烷基或3至10个碳原子的环烷基；或Q³和Q⁴与其相邻的CHC(O)基一起形成2-氧代环烷基。