[发明专利]半导体装置、液晶显示装置及其制造方法有效
| 申请号： | 01110951.3 | 申请日： | 2001-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN1312591A | 公开（公告）日： | 2001-09-12 |
| 发明（设计）人： | 林正美;小林正直 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社;精工爱普生股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/336;H01L21/20;G02F1/136 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王以平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种可靠性高的、具有包含沟道区(6a～6d)的薄膜场效应晶体管的半导体装置,其包括基板(1)和半导体膜。该半导体膜包含在基板1上形成的薄膜场效应晶体管(19、20、22)的沟道区(6a～6d)。通过除去半导体膜的上表面层对半导体膜的上表面(25a～25d)进行平整化处理。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 装置 液晶 显示装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1．一种半导体装置，具有包含沟道区的薄膜场效应晶体管，其中包括：基板；和在上述基板上形成的、包含上述薄膜场效应晶体管的上述沟道区的薄膜场效应晶体管的半导体膜，上述半导体膜具有通过除去上述半导体膜的表面层而得到的平整化的上表面。
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