[发明专利]具有壳体的半导体气体传感器和测量气体浓度的方法无效
| 申请号： | 00806254.4 | 申请日： | 2000-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN1347498A | 公开（公告）日： | 2002-05-01 |
| 发明（设计）人： | G·米勒;T·贝克 | 申请（专利权）人： | 伊德斯德国股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00;G01N27/12 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 郑立柱,张志醒 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于测量例如CO、NOx、O3等的半导体－气体传感器有可以加热的传感元件(1)用于测量气体浓度,以及有壳体(2),在其内部空间(20)安装传感元件(1)。壳体(2)有第一个开口(3),这个开口将内部空间(20)与外部空间相连接。在壳体(2)内安排了一个或多个第二个开口4a,4b,这些低于第一个开口(3),则通过对流驱动气体流从第二个开口(4a,4b)到第一个开口(3)。半导体－气体传感器可以由硅用微工艺制成。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 壳体 半导体 气体 传感器 测量 浓度 方法 | ||
【主权项】：
1.半导体-气体传感器，具有可以加热的传感元件(1；10)用于测量气体浓度，和壳体(2；40)，在其内部空间安装了传感元件，此时壳体(2；40)有第一个开口(3；30)，第一个开口将内部空间(20；50)与外部空间连接，其特征为，在壳体(2；40)内安排了低于第一个开口(3；30)的一个或多个第二个开口(4a，4b；60a，60b)，此时将第一个开口(3；30)安排在可以加热的传感元件(1；10)的上边，以便在运行时通过传感元件(1；10)的加热产生烟囱作用。
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