[发明专利]敏射线树脂组合物无效
| 申请号： | 00800139.1 | 申请日： | 2000-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN1294703A | 公开（公告）日： | 2001-05-09 |
| 发明（设计）人： | 高桥修一 | 申请（专利权）人： | 克拉瑞特国际有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/027;C08L101/00;C08L61/00;C08K5/28 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种敏射线树脂组合物,其中向光敏性树脂基组合物中加入特定量的荧光物质制得该组合物,它具有优良的敏感性,分辨度与膜层保护特性,并能形成令人满意的(光致防蚀)图形。当该光敏性树脂基组合物至少兼有一种树脂和一种光敏性物质时,例如一种含有碱溶性线型酚醛清漆树脂和醌二叠氮化物的组合物等,那么上述荧光物质的加入量,相对于100份重量的光敏性物质,是0.0001—1.0份重量。当该光敏性树脂基组合物至少兼有一种树脂和一种光致酸生成剂时,例如负性或正性,化学增强型的光致抗蚀剂,那么上述荧光物质的加入量是1.0—30.0份重量。上述荧光物质可以包括有机的荧光物质,如萘、蒽、菲、芘、苝、芴、咔唑、联苯、对三联苯、对四联苯、吲哚吖啶、并四苯、红荧烯、及它们的衍生物。 | ||
| 搜索关键词： | 射线 树脂 组合 | ||
【主权项】：
1．一种至少兼有一种树脂和一种光敏性物质的敏射线树脂组合物，其中结合加入的荧光物质量，相对于100份重量的光敏性物质，是0．0001-1．0份重量。
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